A porlasztásos leválasztó gépek, más néven porlasztó rendszerek, a vékonyréteg-leválasztási eljárásban használt speciális berendezések. A porlasztás elvén működnek, amely magában foglalja a célanyag nagy energiájú ionokkal vagy atomokkal történő bombázását. Az eljárás során atomok árama kilökődik a célanyagból, amelyet ezután egy hordozóra raknak le, hogy vékony filmet képezzenek.
A porlasztásos leválasztó gépek használata jelentősen kibővült, mivel képesek nagy tisztaságú, kiváló egyenletességű és szabályozott vastagságú filmeket előállítani. Az ilyen filmek széles körben alkalmazhatók a mikroelektronikában, az optikában, a napelemekben, a mágneses adathordozókban és más területeken.
A porlasztásos leválasztó gépek területén elért legújabb fejlesztések fokozott funkcionalitást és jobb tulajdonságokat eredményeztek. Figyelemre méltó előrelépés a magnetronos porlasztási technológia beépítése, amely nagyobb leválasztási sebességet és jobb filmminőséget tesz lehetővé. Ez az innováció lehetővé teszi különféle anyagok, többek között fémek, fém-oxidok és félvezetők leválasztását.
Ezenkívül a porlasztásos leválasztó gépek ma már fejlett vezérlőrendszerekkel vannak felszerelve, amelyek biztosítják a leválasztási paraméterek, például a gáznyomás, a teljesítménysűrűség, a célanyag összetétele és az aljzat hőmérséklete pontos szabályozását. Ezek a fejlesztések javítják a film teljesítményét, és lehetővé teszik az alkalmazásokhoz igazított tulajdonságokkal rendelkező filmek előállítását.
Ezenkívül a nanotechnológia területének folyamatos fejlődése is nagyban előnyös a porlasztásos leválasztó gépek használatának. A kutatók ezeket a gépeket rendkívül nagy pontosságú nanoszerkezetek és nanoszerkezetű bevonatok létrehozására használják. A porlasztásos leválasztó gépek képesek vékony filmeket lerakni összetett formákra és nagy területekre, így ideálisak különféle nanoskálájú alkalmazásokhoz.
Nemrégiben arról számoltak be, hogy egy ismert kutatóintézet tudósaiból álló csapat sikeresen kifejlesztett egy új porlasztásos leválasztó gépet, amely példátlan pontossággal képes vékony filmeket lerakni. Ez a csúcstechnológiás gép a legmodernebb vezérlőalgoritmusokat és az újszerű magnetron-kialakítást ötvözi a kiváló filmegyenletesség és vastagságszabályozás elérése érdekében. A kutatócsoport elképzelése szerint a gép forradalmasítani fogja a következő generációs elektronikus eszközök és energiatároló rendszerek gyártási folyamatát.
A tudományos közösség szüntelenül küzd az új, továbbfejlesztett funkcionalitású anyagok fejlesztéséért. A porlasztásos leválasztó gépek nélkülözhetetlen eszközzé váltak ebben a kutatásban, megkönnyítve az egyedi tulajdonságokkal rendelkező új anyagok felfedezését és szintézisét. A kutatók ezeket a gépeket használják filmnövekedési mechanizmusok tanulmányozására, testreszabott tulajdonságokkal rendelkező anyagok tanulmányozására, és olyan új anyagok felfedezésére, amelyek alakíthatják a technológia jövőjét.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2023. október 30.
