1. Króm céltárgy A króm, mint porlasztásos filmanyag, nemcsak könnyen kombinálható az aljzattal, nagy tapadást biztosít, hanem krómmal és oxiddal is CrO3 filmet képez, mechanikai tulajdonságai, savállósága és hőstabilitása jobb. Ezenkívül a tökéletlen oxidációs állapotban lévő króm gyenge abszorpciós filmet is létrehozhat. A 98%-nál nagyobb tisztaságú krómból téglalap alakú vagy hengeres króm céltárgyakat állítanak elő. Ezenkívül a szinterelési módszerrel előállított króm téglalap alakú céltárgyak is kiforrott technológiával készülnek.
2. ITO céltárgy Az ITO fólia előállítása A múltban általában In-Sn ötvözetű céltárgyakat használtak a céltárgyak előállításához, majd oxigénnel kezelték őket a bevonási folyamat során, és így ITO fóliát állítottak elő. Ez a módszer nehézkes a reakciógáz szabályozása szempontjából, és gyenge a reprodukálhatósága. Ezért az utóbbi években az ITO szinterezési céltárgy váltotta fel. Az ITO céltárgyanyag tipikus előállítási folyamata a minőségi aránynak megfelelően a golyósőrléses módszerrel teljesen összekeverik, majd hozzáadják a speciális szerves por kompozit anyagot, a kívánt formára keverik, nyomás alatt tömörítik, majd a lemezt levegőn 100 ℃/h sebességgel melegítik 1600 ℃-ra 1 óra tartás után, majd 100 ℃/h sebességgel szobahőmérsékletre hűtik és elkészítik. 100 ℃/h sebességgel szobahőmérsékletre hűtik és elkészítik. Céltárgyak készítésekor a céltárgy síkját polírozni kell, hogy elkerüljék a forró pontokat a porlasztási folyamat során.
3. Az arany és aranyötvözet céltárgyak csillogóak, jó korrózióállósággal rendelkeznek, így ideális dekoratív felületbevonó anyagok. A korábban alkalmazott nedves bevonási módszer kis tapadást, alacsony szilárdságot, gyenge kopásállóságot és hulladékfolyadék-szennyezési problémákat okozott, ezért elkerülhetetlenül felváltotta őket a száraz bevonat. A céltárgyak típusai lehetnek sík céltárgyak, helyi kompozit céltárgyak, cső alakú céltárgyak, helyi kompozit cső alakú céltárgyak és így tovább. Előállítási módszerei főként vákuumolvasztás, pácolás, hideghengerlés, lágyítás, finomhengerlés, nyírás, felülettisztítás, hideghengerlés, kompozit csomagolás és egy sor más eljárás, például előkészítési eljárás adagolásán keresztül történnek. Ez a technológia sikeresen megfelelt a kínai értékelésen, és jó eredményeket mutatott a felhasználás során.
4. Mágneses céltárgyanyag A mágneses céltárgyanyagot főként vékonyrétegű mágnesfejek, vékonyréteg-lemezek és egyéb mágneses vékonyréteg-eszközök bevonására használják. A mágneses anyagok DC magnetronos porlasztási módszere miatt a magnetronos porlasztás nehezebb. Ezért az ilyen céltárgyak előállításához úgynevezett „réscéltípusú” CT céltárgyakat használnak. Az elv az, hogy a céltárgyanyag felületén sok rést vágnak ki, hogy a mágneses rendszer a céltárgy felületén szivárgó mágneses mezőt hozzon létre, így a céltárgyfelület ortogonális mágneses mezőt képezve elérje a magnetronos porlasztási film célját. Állítólag ennek a céltárgyanyagnak a vastagsága elérheti a 20 mm-t.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2024. január 24.