3. Az aljzat hőmérsékletének hatása
Az aljzat hőmérséklete a membrán növekedésének egyik fontos feltétele. További energiát biztosít a membrán atomjainak vagy molekuláinak, és főként a membrán szerkezetét, az agglutinációs együtthatót, a tágulási együtthatót és az aggregációs sűrűséget befolyásolja. A film makroszkopikus visszaverődése, a törésmutató, a szórás, a feszültség, a tapadás, a keménység és az oldhatatlanság nagymértékben eltér a különböző aljzat hőmérsékletek miatt.
(1) Hideg hordozó: általában fémfólia elpárologtatására használják.
(2) A magas hőmérséklet előnyei:
① A szubsztrát felületén adszorbeált maradék gázmolekulákat eltávolítják, hogy növeljék a kötőerőt a szubsztrát és a lerakódott molekulák között;
(2) Elősegíti a filmréteg fizikai adszorpciójának kemiszorpcióvá való átalakulását, fokozza a molekulák közötti kölcsönhatást, tömöríti a filmet, növeli a tapadást és javítja a mechanikai szilárdságot;
3. Csökkentse a gőzmolekuláris átkristályosodási hőmérséklet és az aljzat hőmérséklete közötti különbséget, javítsa a filmréteg sűrűségét, növelje a filmréteg keménységét a belső feszültség kiküszöbölése érdekében.
(3) A túl magas hőmérséklet hátránya: a filmréteg szerkezete megváltozik, vagy a filmanyag bomlik.
4. Az ionbombázás hatásai
Bevonatolás utáni bombázás: javítja a film aggregációs sűrűségét, fokozza a kémiai reakciót, növeli az oxidfilm törésmutatóját, mechanikai szilárdságát, ellenállását és tapadását. A fénykárosodási küszöbérték nő.
5. Az aljzatanyag hatása
(1) Az aljzatanyag eltérő hőtágulási együtthatója a film eltérő hőfeszültségét eredményezi;
(2) A különböző kémiai affinitás befolyásolja a film tapadását és szilárdságát;
(3) Az aljzat érdessége és hibái a vékonyréteg-szórás fő forrásai.
6. Az aljzattisztítás hatása
A hordozó felületén maradt szennyeződés és mosószer a következőkhöz vezet: (1) a fólia gyenge tapadása a hordozóhoz; ② A szóródási abszorpció megnő, a lézerszűrő képesség gyenge; ③ Gyenge fényáteresztő képesség.
A filmanyag kémiai összetétele (tisztaság és szennyeződések típusa), fizikai állapota (por vagy tömb) és előkezelése (vákuumszinterezés vagy kovácsolás) befolyásolja a film szerkezetét és teljesítményét.
8. A párolgási módszer hatása
A különböző párologtatási módszerek által biztosított kezdeti kinetikus energia a molekulák és atomok elpárologtatásához nagyon eltérő, ami nagy különbséget eredményez a film szerkezetében, ami a törésmutató, a szórás és az adhézió különbségében nyilvánul meg.
9. A gőz beesési szögének hatása
A gőz beesési szöge a gőz molekuláris sugárzási iránya és a bevont hordozó felületi normálisa közötti szöget jelenti, amely befolyásolja a film növekedési jellemzőit és aggregációs sűrűségét, és nagy hatással van a film törésmutatójára és szórási jellemzőire. A kiváló minőségű filmek előállításához szabályozni kell a filmanyag gőz molekuláinak emberi emissziós szögét, amelyet általában 30°-ra kell korlátozni.
10. A sütési kezelés hatásai
A film légkörben történő hőkezelése elősegíti a környezeti gázmolekulák és a filmmolekulák feszültségmentesítését és hővándorlását, és rekombinálhatja a film szerkezetét, így nagy hatással van a film törésmutatójára, feszültségére és keménységére.
Közzététel ideje: 2024. márc. 29.