Kondisyon machin kouch vakyòm pou sistèm ponpe a

Machin kouch vakyòm sou sistèm ponpe a gen kondisyon debaz sa yo:

(1) Sistèm vakyòm kouch la ta dwe gen yon vitès ponpe ki ase gwo, ki pa ta dwe sèlman ponpe rapidman gaz ki lage nan substra a ak materyèl evapore yo ansanm ak konpozan ki nan chanm vakyòm nan pandan pwosesis kouch la, men tou, li ta dwe kapab ponpe rapidman gaz ki lage nan pwosesis pulverizasyon ak kouch iyon an, ansanm ak flit gaz pwosesis pulverizasyon ak kouch iyon an ak sistèm nan.

Yo kapab retire rapidman flit gaz la pandan pwosesis pulverizasyon ak kouch iyon an. Pou amelyore pwodiktivite machin kouch la, li ta dwe kapab opere rapidman.

(2) Vakyòm final sistèm ponpe machin kouch la ta dwe diferan selon egzijans diferan fim yo. Tablo 7-9 la montre seri degre vakyòm ki nesesè pou pwosesis kouch diferan fim yo.

(3) Nan ponp difizyon lwil la, kòm sistèm ponp prensipal la, li mande pou to retou lwil ponp lan pi piti posib, paske vapè lwil retou a ap polye sifas pyès la epi lakòz kalite fim nan bese. Nan kondisyon kalite fim yo patikilyèman wo nan pwosesis kouch la, li pi bon pou itilize sistèm ponpe san lwil la. Lè w ap itilize sistèm ponpe ponp difizyon lwil la, yo ta dwe mete pyèj adsorption, pyèj frèt ak lòt konpozan nan antre ponp lan, epi yo ta dwe peye atansyon sou konduktivite konpozan yo pou asire ke sistèm vakyòm nan kenbe vitès ponpe maksimòm nan.

(4) To flit chanm kouch vakyòm lan ak sistèm ponpe li a ta dwe piti, sa vle di, menm si se yon flit gaz tras, li pral afekte kalite fim nan. Se poutèt sa, pou asire pèfòmans sele sistèm nan, to flit total sistèm nan dwe limite a limit admisib la.

(5) Operasyon, itilizasyon ak antretyen sistèm vakyòm nan ta dwe pratik, estab e serye.

–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua