Teknoloji CVD a baze sou reyaksyon chimik. Reyaksyon kote reyaktif yo nan eta gazez epi youn nan pwodwi yo nan eta solid anjeneral yo rele reyaksyon CVD, kidonk sistèm reyaksyon chimik li dwe satisfè twa kondisyon sa yo.
(1) Nan tanperati depozisyon an, reyaktif yo dwe gen yon presyon vapè ki wo ase. Si tout reyaktif yo gazez nan tanperati chanm, aparèy depozisyon an relativman senp, si reyaktif yo pa twò volatil nan tanperati chanm, li bezwen chofe pou fè li volatil, epi pafwa li nesesè pou itilize gaz vektè a pou mennen li nan chanm reyaksyon an.
(2) Nan pwodui reyaksyon yo, tout sibstans yo dwe nan eta gazez eksepte depo ki nesesè a, ki nan eta solid.
(3) Presyon vapè fim ki depoze a ta dwe ase ba pou asire ke fim ki depoze a byen kole ak yon substra ki gen yon sèten tanperati depozisyon pandan reyaksyon depozisyon an. Presyon vapè materyèl substra a nan tanperati depozisyon an dwe ase ba tou.
Reyaktif depozisyon yo divize an twa eta prensipal sa yo.
(1) Eta gazez. Materyèl sous ki gazez nan tanperati chanm, tankou metàn, diyoksid kabòn, amonyak, klò, elatriye, ki pi fezab pou depo vapè chimik, epi pou ki vitès koule a fasil pou reglemante.
(2) Likid. Gen kèk sibstans reyaksyon ki gen yon presyon vapè ki wo nan tanperati chanm oswa yon tanperati yon ti kras pi wo, tankou TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, elatriye, ki ka itilize pou pote gaz (tankou H2, N2, Ar) koule nan sifas likid la oswa likid ki andedan bul la, epi answit pote vapè satire sibstans lan nan estidyo a.
(3) Eta solid. Si pa gen yon sous gaz oswa likid ki apwopriye, se sèlman matyè premyè eta solid ki ka itilize. Gen kèk eleman oswa konpoze yo nan plizyè santèn degre ki gen yon presyon vapè konsiderab, tankou TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, elatriye, ki ka pote nan estidyo a lè l sèvi avèk gaz transpòtè ki depoze nan kouch fim nan.
Sitiyasyon ki pi komen an se lè yon gaz espesifik ak materyèl sous la reyaji ant gaz ak solid oubyen gaz ak likid, sa ki fòme konpozan gazeuz apwopriye pou transpòte nan estidyo a. Pa egzanp, gaz HCl ak metal Ga reyaji pou fòme konpozan gazeuz GaCl3, ki transpòte nan estidyo a sou fòm GaCl3.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 16 novanm 2023