Stroj za vakuumsko premazivanje na pumpnom sustavu ima sljedeće osnovne zahtjeve:
(1) Vakuumski sustav za premazivanje trebao bi imati dovoljno veliku brzinu pumpanja, koja bi trebala ne samo brzo ispumpati plinove oslobođene iz podloge i isparanih materijala te komponenti u vakuumskoj komori tijekom procesa premazivanja, već i brzo ispumpati plinove oslobođene procesom raspršivanja i ionskog premazivanja, kao i spriječiti curenje plina iz procesa raspršivanja i ionskog premazivanja i sustava.
Curenje plina tijekom procesa raspršivanja i ionskog premazivanja također se može brzo ukloniti. Kako bi se poboljšala produktivnost stroja za premazivanje, on bi trebao moći brzo raditi.
(2) Krajnji vakuum pumpnog sustava stroja za premazivanje trebao bi biti različit prema zahtjevima različitih filmova. Tablica 7-9 prikazuje raspon stupnja vakuuma potreban za proces premazivanja različitih filmova.
(3) U uljnoj difuzijskoj pumpi kao glavnom sustavu pumpanja, brzina povrata ulja pumpe mora biti što manja, jer će povratna uljna para onečistiti površinu obratka i uzrokovati smanjenje kvalitete filma. U procesu premazivanja, kada su zahtjevi za kvalitetom filma posebno visoki, najbolje je koristiti sustav pumpanja bez ulja. Prilikom korištenja sustava pumpanja uljnom difuzijskom pumpom, treba postaviti adsorpcijsku zamku, hladnu zamku i druge komponente na ulazu pumpe te obratiti pozornost na vodljivost komponenti kako bi se osiguralo da vakuumski sustav održava maksimalnu brzinu pumpanja.
(4) Brzina propuštanja vakuumske komore za premazivanje i njenog sustava za pumpanje treba biti mala, tj. čak i ako se radi o propuštanju tragova plina, to će utjecati na kvalitetu filma. Stoga, kako bi se osigurala učinkovitost brtvljenja sustava, ukupna brzina propuštanja sustava mora biti ograničena na dopušteni raspon.
(5) Rad, korištenje i održavanje vakuumskog sustava trebaju biti praktični, stabilni i pouzdani.
–Ovaj članak objavljujeproizvođač strojeva za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 14. prosinca 2023.