ʻO ka mīkini hoʻoheheʻe vacuum ma ka ʻōnaehana pumping i kēia mau koi kumu:
(1) Pono ka ʻōnaehana hoʻoheheʻe ʻana i ka nui o ka pumping rate, ʻaʻole ia e hoʻokuʻu wale i nā kinoea i hoʻokuʻu ʻia mai ka substrate a me nā mea evaporated a me nā mea i loko o ke keʻena ʻūhā i ka wā o ke kaʻina hana, akā hiki nō hoʻi ke hoʻokuʻu koke i nā kinoea i hoʻokuʻu ʻia mai ke kaʻina o ka sputtering a me ka ion coating kaʻina, a me ka leakage kinoea a me ka ʻōnaehana hoʻopili ion.
Hiki ke hoʻokuʻu koke ʻia ka leakage kinoea i ka wā sputtering a me ke kaʻina hana uhi ion. I mea e hoʻomaikaʻi ai i ka huahana o ka mīkini uhi, pono e hiki ke hana wikiwiki.
(2) Pono e ʻokoʻa ka ʻenekini hope loa o ka ʻōnaehana hoʻoheheʻe mīkini uhi e like me nā koi o nā kiʻiʻoniʻoni like ʻole. ʻO ka papa 7-9 ka laulima o ke kekelē mākole e koi ʻia e ke kaʻina hana uhi o nā kiʻiʻoniʻoni like ʻole.
(3) I loko o ka ʻaila diffusion pump e like me ka ʻōnaehana hoʻoheheʻe nui e pono ai ka liʻiliʻi o ka hoʻihoʻi ʻana o ka ʻaila o ka pama, no ka mea, e hoʻohaumia ka ʻaila ʻaila hoʻihoʻi i ka ʻili o ka mea hana a hoʻohaʻahaʻa i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni. I loko o ke kiʻiʻoniʻoni kiʻi pono kiʻekiʻe loa i loko o ke kaʻina hana hoʻopili, ʻoi aku ka maikaʻi o ka hoʻohana ʻana i ka ʻōnaehana pumping oil-free. I ka hoʻohana 'ana i ka aila diffusion pump pumping nenoaiu, pono e kau i loko o ka pahū inlet adsorption pahele, anu pahele a me nā mea'ē aʻe, a pono e hoʻolohe i ka conductivity o nā mea e hōʻoia i ka'ōnaehana'ōhua e mālama i ka 'oi loa o ka pumping wikiwiki.
(4) Pono ka liʻiliʻi o ka leakage o ke keʻena hoʻoheheʻe a me kāna ʻōnaehana pumping, ʻo ia hoʻi, inā he leakage trace, e hoʻopilikia ia i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni. No laila, i mea e hōʻoia ai i ka hana hoʻopaʻa ʻana o ka ʻōnaehana, pono e kaupalena ʻia ka nui o ka leakage o ka ʻōnaehana i ka pae i ʻae ʻia.
(5) Pono e maʻalahi ka hana ʻana o ka ʻōnaehana vacuum, hoʻohana a mālama pono.
-Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini hoʻopaʻa haʻahaʻaGuangdong Zhenhua
Ka manawa hoʻouna: Dec-14-2023