Tha na riatanasan bunaiteach a leanas aig inneal còmhdach falamh air an t-siostam pumpaidh:
(1) Bu chòir gum biodh ìre pumpaidh mòr gu leòr aig an t-siostam falamh còmhdaich, agus cha bu chòir dha a bhith comasach air na gasaichean a chaidh a leigeil ma sgaoil bhon t-substrate agus na stuthan a chaidh a ghalachadh agus na co-phàirtean anns an t-seòmar falamh rè a’ phròiseas còmhdaich a phumpadh a-mach gu luath, ach cuideachd na gasaichean a chaidh a leigeil ma sgaoil bhon phròiseas sputtering agus còmhdach ian a phumpadh a-mach gu luath, a bharrachd air aodion gas a’ phròiseas sputtering agus còmhdach ian agus an t-siostaim.
Faodar an aodion gas rè pròiseas sputtering agus còmhdach ian a thoirt a-mach gu sgiobalta cuideachd. Gus cinneasachd an inneil còmhdach a leasachadh, bu chòir dha a bhith comasach air obrachadh gu sgiobalta.
(2) Bu chòir gum biodh an ìre falamh deireannach ann an siostam pumpaidh an inneil-chòmhdaich eadar-dhealaichte a rèir riatanasan diofar fhilmichean. Tha Clàr 7-9 a’ sealltainn an raon ìre falamh a tha a dhìth airson pròiseas còmhdachaidh diofar fhilmichean.
(3) Anns a’ phump sgaoilidh ola mar phrìomh shiostam pumpaidh a’ phump, feumaidh ìre tilleadh ola a’ phump a bhith cho beag ‘s a ghabhas, oir bidh ceò tilleadh na h-ola a’ truailleadh uachdar a’ phìos obrach agus ag adhbhrachadh crìonadh càileachd an fhilm. Anns a’ phròiseas còmhdachaidh, tha na riatanasan càileachd film gu sònraichte àrd, agus mar sin tha e nas fheàrr siostam pumpaidh gun ola a chleachdadh. Nuair a thathar a’ cleachdadh siostam pumpaidh pumpaidh sgaoilidh ola, bu chòir ribe adsorption, ribe fuar agus co-phàirtean eile a shuidheachadh ann an in-ghabhail a’ phump, agus bu chòir aire a thoirt do ghiùlan nam pàirtean gus dèanamh cinnteach gu bheil an siostam falamh a’ cumail suas an astar pumpaidh as àirde.
(4) Bu chòir ìre aodion seòmar còmhdach falamh agus an t-siostam pumpaidh aige a bhith beag, i.e., eadhon ged a tha aodion gas beag ann, bheir e buaidh air càileachd an fhilm. Mar sin, gus dèanamh cinnteach à coileanadh seulachaidh an t-siostaim, feumar ìre aodion iomlan an t-siostaim a chuingealachadh ris an raon ceadaichte.
(5) Bu chòir obrachadh, cleachdadh agus cumail suas siostam falamh a bhith goireasach, seasmhach agus earbsach.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 14 Dùbhlachd 2023