’S e uidheam air leth speisealta a th’ ann an innealan tasgadh spùtaidh, ris an canar cuideachd siostaman spùtaidh, a thathas a’ cleachdadh sa phròiseas tasgadh film tana. Bidh e ag obair air prionnsapal an spùtaidh, a tha a’ toirt a-steach a bhith a’ bomadh stuth targaid le ianan no dadaman àrd-lùtha. Bidh am pròiseas a’ tilgeil sruth de dadaman a-mach à stuth targaid, a thèid an uairsin a thasgadh air fo-strat gus film tana a chruthachadh.
Tha cleachdadh innealan tasgaidh sputter air leudachadh gu mòr air sgàth 's gu bheil iad comasach air filmichean de ghlanachd àrd, cunbhalachd sàr-mhath agus tiughas fo smachd a thoirt gu buil. Tha tagraidhean farsaing aig filmichean mar sin ann am meanbh-eileagtronaig, optaig, ceallan grèine, meadhanan stòraidh magnetach agus raointean eile.
Tha leasachaidhean o chionn ghoirid ann an raon innealan tasgadh sputter air leantainn gu gnìomhachd nas fheàrr agus feartan nas fheàrr. Is e adhartas cudromach a th’ ann an toirt a-steach teicneòlas sputtering magnetron, a leigeas le ìrean tasgadh nas àirde agus càileachd film nas fheàrr. Leigidh an innleachdas seo le tasgadh measgachadh de stuthan, nam measg meatailtean, ocsaidean meatailt agus leth-chonnsachaidhean.
A bharrachd air sin, tha innealan tasgaidh sputter a-nis uidheamaichte le siostaman smachd adhartach a nì cinnteach à smachd mionaideach air paramadairean tasgaidh leithid cuideam gas, dùmhlachd cumhachd, co-dhèanamh targaid agus teòthachd an t-substrate. Bidh na h-adhartasan seo a’ leasachadh coileanadh film agus a’ comasachadh cinneasachadh fhilmichean le feartan a tha freagarrach do thagraidhean sònraichte.
A bharrachd air sin, tha leasachadh leantainneach ann an raon nanoteicneòlais cuideachd a’ faighinn buannachd mhòr bho innealan tasgadh sputter. Tha luchd-rannsachaidh a’ cleachdadh nan innealan seo gus nanostructaran agus còtaichean nanostructaraichte a chruthachadh le mionaideachd air leth àrd. Tha innealan tasgadh sputter comasach air filmichean tana a thasgadh thairis air cumaidhean iom-fhillte agus raointean mòra, gan dèanamh freagarrach airson grunn thagraidhean nanosgèile.
Chaidh aithris o chionn ghoirid gun do leasaich sgioba de luchd-saidheans bho ionad rannsachaidh ainmeil inneal ùr airson tasgaidhean sputter a dh’fhaodas filmichean tana a thasgadh le mionaideachd nach fhacas a-riamh roimhe. Bidh an inneal ùr-nodha seo ag amalachadh algorithms smachd ùr-nodha agus dealbhadh magnetron ùr-nodha gus cunbhalachd film agus smachd tighead nas fheàrr a choileanadh. Tha an sgioba rannsachaidh an dùil gun ath-bhualadh an inneal aca pròiseas saothrachaidh innealan dealanach an ath ghinealaich agus siostaman stòraidh lùtha.
Tha leasachadh stuthan ùra le comas-gnìomh nas fheàrr na oidhirp gun stad aig a’ choimhearsnachd saidheansail. Tha innealan tasgadh sputter air a bhith nan inneal riatanach san rannsachadh seo, a’ comasachadh lorg agus co-chur stuthan ùra le feartan sònraichte. Tha luchd-rannsachaidh a’ cleachdadh nan innealan seo gus sgrùdadh a dhèanamh air dòighean fàis film, sgrùdadh a dhèanamh air stuthan le feartan sònraichte, agus stuthan ùra a lorg a dh’ fhaodadh cumadh a thoirt air àm ri teachd teicneòlais.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 30 Dàmhair 2023