Tha còmhdach falamh sa mhòr-chuid a’ toirt a-steach tasgadh smùid falamh, còmhdach sputtering agus còmhdach ian, agus tha iad uile air an cleachdadh gus diofar fhilmichean meatailt is neo-mheatailt a thasgadh air uachdar phàirtean plastaig le bhith gan grùdadh no gan sputtering fo chumhachan falamh, agus faodaidh iad còmhdach uachdar tana fhaighinn leis a’ bhuannachd air leth de ghreamachadh luath, ach tha a’ phrìs nas àirde cuideachd, agus tha nas lugha de sheòrsan meatailtean ann a ghabhas obrachadh, agus mar as trice bidh iad air an cleachdadh airson còmhdach gnìomhach de thoraidhean ìre nas àirde.
'S e dòigh a th' ann an tasgadh-smùid falamh airson meatailt a theasachadh fo fhalamh àrd, ga leaghadh, a' falmhachadh, agus a' cruthachadh film meatailt tana air uachdar an t-sampall às deidh fuarachadh, le tiughas de 0.8-1.2 um. Bidh e a' lìonadh nam pàirtean beaga concave agus cobharach air uachdar an toraidh a chaidh a chruthachadh gus uachdar coltach ri sgàthan fhaighinn. Nuair a thèid tasgadh-smùid falamh a dhèanamh an dàrna cuid gus buaidh sgàthan meòrachail fhaighinn no gus stàilinn le greamachadh ìosal a ghalachadh ann am falamh, feumar an uachdar ìosal a chòmhdach.
Mar as trice, tha spùtadh a’ toirt iomradh air spùtadh magnetron, dòigh spùtadh aig astar luath is teòthachd ìosal. Feumaidh am pròiseas falamh de mu 1 × 10-3Torr, is e sin 1.3 × 10-3Pa staid falamh làn de ghas neo-ghnìomhach argon (Ar), agus eadar an t-substrate plastaig (anode) agus an targaid meatailt (cathode) a bharrachd air sruth dìreach àrd-bholtaids, air sgàth brosnachadh electron gas neo-ghnìomhach a thèid a chruthachadh le sgaoileadh deàrrsadh, a’ toirt a-mach plasma, bidh am plasma a’ spreadhadh a-mach ataman an targaid meatailt agus gan tasgadh air an t-substrate plastaig. Bidh a’ mhòr-chuid de na còmhdach meatailt coitcheann a’ cleachdadh spùtadh DC, agus bidh na stuthan ceirmeag neo-ghiùlain a’ cleachdadh spùtadh RF AC.
’S e còmhdach ian dòigh anns a bheilear a’ cleachdadh sgaoileadh gas gus an gas no an stuth a chaidh a ghalachadh a ionachadh gu ìre fo chumhachan falamh, agus tha an stuth a chaidh a ghalachadh no na luchd-freagairt aige air an tasgadh air an t-substrate le bhith a’ bomadh ianan gas no ianan den stuth a chaidh a ghalachadh. Tha iad sin a’ gabhail a-steach còmhdach ian sputtering magnetron, còmhdach ian ath-ghnìomhach, còmhdach ian sgaoilidh catod falamh (dòigh tasgadh smùid catod falamh), agus còmhdach ian ioma-arc (còmhdach ian arc catod).
Còmhdach leantainneach sputtering magnetron dà-thaobhach inghearach ann an loidhne
Tagradh farsaing, faodar a chleachdadh airson toraidhean dealanach leithid slige leabhar notaichean, còmhdach dìon EMI, toraidhean còmhnard, agus faodar eadhon a h-uile toradh cupa lampa taobh a-staigh sònrachadh àirde sònraichte a thoirt gu buil. Comas luchdachadh mòr, teannachadh teann agus teannachadh staggered de chupan solais cònail airson còmhdach dà-thaobhach, a dh’ fhaodadh comas luchdachadh nas motha a bhith aca. Càileachd sheasmhach, deagh cunbhalachd an t-sreath film bho bhaidse gu baidse. Ìre àrd de fèin-ghluasad agus cosgais saothair ruith ìosal.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 23 Faoilleach 2025