Tha teicneòlas CVD stèidhichte air ath-bhualadh ceimigeach. Mar as trice canar ath-bhualadh CVD ris an ath-bhualadh anns a bheil na luchd-freagairt ann an staid gasach agus aon de na toraidhean ann an staid chruaidh, agus mar sin feumaidh an siostam ath-bhualadh ceimigeach aige na trì cumhaichean a leanas a choileanadh.
(1) Aig teòthachd an tasgaidh, feumaidh cuideam smùid àrd gu leòr a bhith aig na luchd-freagairt. Ma tha na luchd-freagairt uile gasach aig teòthachd an t-seòmair, tha an inneal tasgaidh gu math sìmplidh, ma tha na luchd-freagairt luaineach aig teòthachd an t-seòmair glè bheag, feumar a theasachadh gus a dhèanamh luaineach, agus uaireannan feumar gas giùlain a chleachdadh gus a thoirt don t-seòmar freagairt.
(2) De na toraidhean ath-bhualaidh, feumaidh a h-uile stuth a bhith ann an staid gasach ach a-mhàin an tasgadh a tha thu ag iarraidh, a tha ann an staid chruaidh.
(3) Bu chòir cuideam-smùide an fhilm a chaidh a thasgadh a bhith ìosal gu leòr gus dèanamh cinnteach gu bheil am film a chaidh a thasgadh ceangailte gu daingeann ri fo-strat aig a bheil teòthachd tasgaidh sònraichte rè ath-bhualadh an tasgaidh. Feumaidh cuideam-smùide stuth an fho-strat aig teòthachd an tasgaidh a bhith ìosal gu leòr cuideachd.
Tha na reactantan tasgaidh air an roinn anns na trì prìomh staidean a leanas.
(1) Staid ghasach. Stuthan tùsail a tha gasach aig teòthachd an t-seòmair, leithid meatàn, carbon dà-ogsaid, ammonia, clòirin, msaa., a tha nas freagarraiche airson tasgadh ceò ceimigeach, agus airson a bheil an ìre sruthadh furasta a riaghladh.
(2) Leaghan. Bidh cuid de stuthan ag ath-bhualadh aig teòthachd an t-seòmair no teòthachd beagan nas àirde, le cuideam ceò àrd, leithid TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, msaa., agus faodar an gas (leithid H2, N2, Ar) a ghiùlan tro uachdar an leaghan no builgeanan an leaghan a-staigh, agus an uairsin na ceòthan shàthaichte den stuth a ghiùlan a-steach don stiùidio.
(3) Staid chruaidh. Mura h-eil stòr gasach no leaghaidh freagarrach ann, chan urrainnear ach stuthan bìdh staid chruaidh a chleachdadh. Tha cuideam smùid mòr aig cuid de eileamaidean no na todhar aca ann an ceudan de cheumannan, leithid TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, msaa., a ghiùlan a-steach don stiùidio le bhith a’ cleachdadh a’ ghas giùlain a chaidh a thasgadh anns an t-sreath film.
Is e an seòrsa suidheachaidh as cumanta tro ath-bhualadh gas-chruaidh no gas-leaghan sònraichte an stuth tùsail, a chruthaicheas co-phàirtean gasach iomchaidh airson an lìbhrigeadh don stiùidio. Mar eisimpleir, bidh gas HCl agus meatailt Ga ag ath-bhualadh gus co-phàirt gasach GaCl a chruthachadh, a thèid a ghiùlan chun stiùidio ann an cruth GaCl.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 16 dhen t-Samhain 2023