Áirítear leis an sciath folúis taisciú gaile folúis, sciath spútarála agus sciath ian den chuid is mó, agus úsáidtear iad seo go léir chun scannáin miotail agus neamh-mhiotail éagsúla a thaisceadh ar dhromchla páirteanna plaisteacha trí dhriogadh nó spútaráil faoi choinníollacha folúis, rud a fhéadann sciath dromchla an-tanaí a fháil leis an mbuntáiste den scoth a bhaineann le greamaitheacht thapa, ach tá an praghas níos airde freisin, agus tá na cineálacha miotail is féidir a oibriú níos lú, agus úsáidtear iad go ginearálta le haghaidh sciath feidhmiúil táirgí ardghráid.
Is modh é taisceadh gaile folúis chun an miotal a théamh faoi fholús ard, rud a fhágann go leáíonn sé, go ngalaíonn sé, agus go bhfoirmíonn sé scannán miotail tanaí ar dhromchla an tsampla tar éis fuaraithe, le tiús 0.8-1.2 um. Líonann sé na codanna beaga cónacha agus dronnacha ar dhromchla an táirge foirmithe chun dromchla scáthánach a fháil. Nuair a dhéantar taisceadh gaile folúis chun éifeacht scátháin fhrithchaiteach a fháil nó chun cruach le greamaitheacht íseal a ghalú i bhfolús, ní mór an dromchla bun a sciathú.
De ghnáth tagraíonn spútaráil maighnéadrón do spútaráil, ar modh spútarála ardluais ísealteochta é. Éilíonn an próiseas folús de thart ar 1 × 10-3 Torr, is é sin 1.3 × 10-3 Pa i staid folúis atá líonta le gás támh argón (Ar), agus idir an tsubstráit phlaisteach (anóid) agus an sprioc miotail (catóid) móide sruth díreach ardvoltais, mar gheall ar spreagadh leictreon an gháis támh a ghintear trí urscaoileadh lonrach, ag táirgeadh plasma, pléascfaidh an plasma amach adaimh an sprioc miotail agus taiscfidh sé iad ar an tsubstráit phlaisteach. Úsáideann formhór na sciath miotail ghinearálta spútaráil DC, agus úsáideann ábhair cheirmeacha neamhsheoltacha spútaráil RF AC.
Is modh é sciath ian ina n-úsáidtear urscaoileadh gáis chun an gás nó an tsubstaint galaithe a ianú go páirteach faoi choinníollacha folúis, agus déantar an tsubstaint galaithe nó a himoibrithe a thaisceadh ar an tsubstráit trí bhuamáil ian gáis nó ian na substainte galaithe. Áirítear leis seo sciath ian spútar maighnéadróin, sciath ian imoibríoch, sciath ian urscaoilte catóide log (modh taiscthe gaile catóide log), agus sciath ian il-stua (sciath ian stua catóide).
Sciath leanúnach spútála maighnéadrón déthaobhach ingearach i líne
Infheidhmeacht leathan, is féidir é a úsáid le haghaidh táirgí leictreonacha amhail ciseal sciath EMI do bhlaosc leabhar nótaí, táirgí cothroma, agus is féidir fiú gach táirge cupán lampa laistigh de shonraíocht airde áirithe a tháirgeadh. Cumas lódála mór, clampáil dhlúth agus clampáil tuislithe ar chupáin solais chónúla le haghaidh sciath déthaobhach, a bhféadfadh cumas lódála níos mó a bheith aige. Cáilíocht chobhsaí, dea-chomhsheasmhacht na sraithe scannáin ó bhaisc go baisc. Ardchéim uathoibrithe agus costas saothair reatha íseal.
–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua
Am an phoist: 23 Eanáir 2025