Tá teicneolaíocht CVD bunaithe ar imoibriú ceimiceach. De ghnáth tugtar imoibriú CVD ar an imoibriú ina bhfuil na himoibrithe i riocht gásach agus ceann de na táirgí i riocht soladach, dá bhrí sin ní mór dá chóras imoibriúcháin cheimicigh na trí choinníoll seo a leanas a chomhlíonadh.
(1) Ag teocht an taiscthe, ní mór brú gaile ard go leor a bheith ag na himoibritheoirí. Má tá na himoibritheoirí uile gásach ag teocht an tseomra, tá an gléas taiscthe sách simplí, má tá na himoibritheoirí so-ghalaithe ag teocht an tseomra an-bheag, ní mór é a théamh chun é a dhéanamh so-ghalaithe, agus uaireanta ní mór an gás iompróra a úsáid chun é a thabhairt chuig an seomra imoibrithe.
(2) De na táirgí imoibrithe, ní mór do na substaintí uile a bheith sa staid ghásach seachas an taisceadh atá ag teastáil, atá sa staid sholadach.
(3) Ba chóir go mbeadh brú gaile an scannáin thaiscthe íseal go leor chun a chinntiú go bhfuil an scannán taiscthe ceangailte go daingean le foshraith a bhfuil teocht áirithe taiscthe aici le linn an imoibrithe taiscthe. Caithfidh brú gaile ábhar an foshraithe ag an teocht taiscthe a bheith íseal go leor freisin.
Roinntear na himoibrithe taiscthe sna trí phríomhstát seo a leanas.
(1) Staid ghásach. Ábhair foinse atá gásach ag teocht an tseomra, amhail meatán, dé-ocsaíd charbóin, amóinia, clóirín, etc., is mó a oireann do thaisceadh gaile ceimiceach, agus a bhfuil a ráta sreafa rialáilte go héasca.
(2) Leacht. Bíonn brú gaile ard ag roinnt substaintí imoibrithe ag teocht an tseomra nó teocht beagán níos airde, amhail TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, etc., agus is féidir leo gás (amhail H2, N2, Ar) a iompar trí dhromchla an leachta nó boilgeog an leachta istigh ann, agus ansin gal sáithithe na substainte a iompar isteach sa stiúideo.
(3) Staid sholadaigh. In éagmais foinse ghásach nó leachtach oiriúnach, ní féidir ach amhábhair staid sholadaigh a úsáid. Tá brú gaile suntasach ag roinnt eilimintí nó a gcomhdhúile i na céadta céim, amhail TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, etc., agus is féidir iad a iompar isteach sa stiúideo ag baint úsáide as an ngás iompróra a thaisceadh sa chiseal scannáin.
Is minic a tharlaíonn sé trí imoibriú gás-soladach nó gás-leachtach idir gás áirithe agus an t-ábhar foinseach, agus foirmítear comhpháirteanna gásacha cuí chuig an stiúideo. Mar shampla, imoibríonn gás HCl agus miotal Ga chun comhpháirt ghásach GaCl a fhoirmiú, a iompraítear chuig an stiúideo i bhfoirm GaCl.
–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua
Am an phoist: 16 Samhain 2023