La machine de revêtement sous vide sur le système de pompage a les exigences de base suivantes :
(1) Le système de vide de revêtement doit avoir un débit de pompage suffisamment important, qui doit non seulement pomper rapidement les gaz libérés du substrat et des matériaux évaporés et des composants dans la chambre à vide pendant le processus de revêtement, mais également être capable de pomper rapidement les gaz libérés par le processus de pulvérisation cathodique et de revêtement ionique, ainsi que les fuites de gaz du processus de pulvérisation cathodique et de revêtement ionique et du système.
Les fuites de gaz lors des procédés de pulvérisation cathodique et de revêtement ionique peuvent également être rapidement éliminées. Afin d'améliorer la productivité de la machine de revêtement, celle-ci doit pouvoir fonctionner rapidement.
(2) Le vide limite du système de pompage de la machine de revêtement doit être différent selon les exigences des différents films. Le tableau 7-9 indique la plage de vide requise par le procédé de revêtement de différents films.
(3) Dans le cas d'une pompe à diffusion d'huile, utilisée comme pompe principale, le débit de retour d'huile doit être le plus faible possible, car les vapeurs d'huile de retour polluent la surface de la pièce et dégradent la qualité du film. Dans le cas d'un procédé de revêtement où les exigences de qualité du film sont particulièrement élevées, il est préférable d'utiliser un système de pompage sans huile. Lors de l'utilisation d'une pompe à diffusion d'huile, il convient d'installer un piège à adsorption, un piège à froid et d'autres composants à l'entrée de la pompe, et de veiller à la conductivité de ces composants afin de garantir que le système de vide maintienne une vitesse de pompage maximale.
(4) Le taux de fuite de la chambre de revêtement sous vide et de son système de pompage doit être faible. En d'autres termes, même une fuite de gaz à l'état de traces affectera la qualité du film. Par conséquent, afin de garantir l'étanchéité du système, le taux de fuite total doit être limité à la plage admissible.
(5) Le fonctionnement, l'utilisation et l'entretien du système de vide doivent être pratiques, stables et fiables.
–Cet article est publié parfabricant de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua
Date de publication : 14 décembre 2023