Pumppausjärjestelmän tyhjiöpinnoituskoneella on seuraavat perusvaatimukset:
(1) Pinnoitustyhjiöjärjestelmän pumppausnopeuden tulisi olla riittävän suuri, jotta se paitsi pumppaa nopeasti pois substraatista ja haihtuneista materiaaleista sekä tyhjiökammion komponenteista pinnoitusprosessin aikana vapautuvat kaasut, myös pystyy pumppaamaan nopeasti pois sputterointi- ja ionipinnoitusprosessista vapautuvat kaasut sekä sputterointi- ja ionipinnoitusprosessin ja järjestelmän kaasuvuodon.
Myös sputterointi- ja ionipinnoitusprosessin aikana syntyvä kaasuvuoto voidaan poistaa nopeasti. Pinnoituskoneen tuottavuuden parantamiseksi sen tulisi toimia nopeasti.
(2) Päällystyskoneen pumppausjärjestelmän lopullisen alipaineen tulisi vaihdella eri kalvojen vaatimusten mukaan. Taulukossa 7-9 on esitetty eri kalvojen päällystysprosessissa vaadittavan alipaineen vaihteluväli.
(3) Öljydiffuusiopumpussa pääpumpun pumppausjärjestelmänä pumpun öljyn palautusnopeuden on oltava mahdollisimman pieni, koska palautusöljyhöyry saastuttaa työkappaleen pinnan ja heikentää kalvon laatua. Koska kalvon laatuvaatimukset ovat erityisen korkeat pinnoitusprosessissa, on parasta käyttää öljytöntä pumppausjärjestelmää. Öljydiffuusiopumpussa on asennettava pumpun tuloaukkoon adsorptioloukku, kylmäloukku ja muut komponentit, ja komponenttien johtavuuteen on kiinnitettävä huomiota sen varmistamiseksi, että tyhjiöjärjestelmä ylläpitää maksimaalista pumppausnopeutta.
(4) Tyhjiöpäällystyskammion ja sen pumppausjärjestelmän vuotonopeuden tulee olla pieni, eli pienikin kaasuvuoto vaikuttaa kalvon laatuun. Siksi järjestelmän tiivistyskyvyn varmistamiseksi järjestelmän kokonaisvuotonopeus on rajoitettava sallitulle alueelle.
(5) Tyhjiöjärjestelmän toiminnan, käytön ja huollon tulee olla kätevää, vakaata ja luotettavaa.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 14.12.2023