Kun tyhjiökomponentit, kuten venttiilit, loukut, pölynkerääjät ja tyhjiöpumput, on kytketty toisiinsa, pumppausputki tulisi pitää lyhyenä, putkiston virtausohjaimen tulisi olla suuri ja putken halkaisijan tulisi olla yleensä vähintään yhtä suuri kuin pumpun portin halkaisija. Tämä on tärkeä periaate järjestelmän suunnittelussa. Samalla on kuitenkin otettava huomioon asennus ja huolto. Joskus tärinän estämiseksi ja melun vähentämiseksi mekaaninen pumppu voidaan sijoittaa pumppuhuoneeseen tyhjiökammion lähelle.
2. Mekaanisissa pumpuissa (mukaan lukien Roots-pumpuissa) on tärinää. Koko järjestelmän tärinän estämiseksi käytetään yleensä letkua tärinän vähentämiseksi. Letkuja on kahdenlaisia: metallisia ja ei-metallisia. Letkun tyypistä riippumatta on varmistettava, ettei ilmanpaine laske.
3. Kun tyhjiöjärjestelmä on rakennettu, sen mittaamisen ja vuotojen havaitsemisen tulisi olla helppoa. Tuotantokäytännöt osoittavat, että tyhjiöjärjestelmät vuotavat usein helposti ja vaikuttavat tuotantoprosessiin. Vuotoaukon nopeaan löytämiseen on tarpeen suorittaa osittaista vuototestausta, joten jokaisessa venttiilillä suljetussa tilassa tulisi olla vähintään yksi mittauspiste mittausta ja vuotojen testausta varten.
4, Tyhjiöjärjestelmään konfiguroitujen venttiilien ja putkistojen tulisi tehdä järjestelmän pumppausajasta lyhyttä, helppokäyttöistä, turvallista ja luotettavaa. Yleisesti ottaen järjestelmässä, jossa on höyryvirtauspumppu pääpumppuna (diffuusiopumppu tai öljyn tehostuspumppu) ja mekaaninen pumppu esivaihepumppuna, sekä esivaiheputkisto (höyryvirtauspumpun putket sarjassa mekaanisen pumpun kanssa), tulisi olla esivaiheputkisto (tyhjiökammion putkisto mekaaniseen pumppuun). Seuraavaksi on korkeatyhjiöventtiili (jota kutsutaan myös pääventtiiliksi) tyhjiökammion ja pääpumpun välissä ja esivaiheputkistossa esivaiheputkiston venttiili (jota kutsutaan myös matalatyhjiöventtiiliksi); esivaiheputkistossa on esityhjiöputkiston venttiili (jota kutsutaan matalatyhjiöventtiiliksi). Pääpumpun korkeatyhjiöventtiiliä ei yleensä voida avata venttiilikannen alla tyhjiötilassa eikä venttiilikannen päällä ilmakehän painetilassa, mikä tulisi varmistaa sähköisellä lukituksella turvallisuuden takaamiseksi. Esivaiheputkiston venttiilin ja esityhjiöputkiston venttiilin on oltava sellainen, että itse venttiili voidaan avata ilmakehän paineessa. Tyhjiöjärjestelmissä, joissa pääpumppuna on höyryvirtauspumppu, pääventtiilin tulee olla peitettynä pääpumpun suuntaan, esivaiheen putkiston venttiilin tulee myös olla peitettynä pääpumpun suuntaan ja esityhjiöputkiston venttiilin tulee olla peitettynä tyhjiökammion suuntaan. Mekaanisen pumpun tuloputkessa tulee olla tyhjennysventtiili. Kun mekaaninen pumppu lakkaa toimimasta, tämä venttiili voidaan avata välittömästi, jotta mekaaninen pumppu pääsee ilmakehään ja estää mekaanisen pumpun öljyn virtaamisen takaisin putkistoon. Siksi venttiilin tulee olla sähköisesti kytketty mekaaniseen pumppuun. Tyhjiökammioon tulee myös asentaa tyhjennysventtiili materiaalin lataamista ja ottamista varten. Venttiilin sijainnin tulee ottaa huomioon kaasun suuri impulssi tyhjennyksen aikana, jotta liiallinen impulssi ei vahingoita tyhjiökammion heikkoja komponentteja. Tyhjennysventtiilin koko liittyy tyhjiökammion tilavuuteen, ja on otettava huomioon, että tyhjennysaika ei saa olla liian pitkä ja vaikuttaa toimintaan.
5. Tyhjiöjärjestelmän suunnittelun tulisi varmistaa vakaa ja luotettava pakokaasu, helppo asennus, purkaminen ja huolto, kätevä käyttö ja komponenttien välisten liitosten vaihdettavuus. Vakaan pakokaasun saavuttamiseksi pääpumpun tulee olla vakaa, venttiilien tulee olla joustavia ja luotettavia, kunkin järjestelmän komponentin liittimien ei tule vuotaa, tyhjiökammion tulee olla tiiviisti tiivistävä ja tyhjiökomponenttien liitosten tulee olla vakiokokoisia vaihdettavuuden varmistamiseksi. Periaatteessa tyhjiöjärjestelmän suunnittelussa jokaisella suljetulla putkikoolla tulisi olla säädettävä koko. Aiemmin tämä säädettävä koko ratkaistiin letkun avulla, mutta nykyään useimmat järjestelmät suunnitellaan ilman letkuja. Sen sijaan asennusvirheet ratkaistaan parantamalla tyhjiökomponenttien käsittelykoon tarkkuutta ja käyttämällä liitoslaipassa tiivistävää kumirengasta, mikä voi parantaa järjestelmän lujuutta ja jäykkyyttä, vähentää järjestelmässä käytettävää kiinnikettä ja tehdä siitä kauniimman.
6. Tyhjiöjärjestelmien suunnittelussa tulisi ottaa käyttöön uutta teknologiaa automaattisen ohjauksen ja lukitussuojauksen saavuttamiseksi. Tyhjiötekniikan kehittyessä on välttämätöntä, että koko pumppausprosessi toimii automaattisesti. Esimerkiksi tyhjiörele ohjaa Roots-pumpun käynnistymistä 1333 Pa:n paineessa. Vedenpainerele ohjaa höyryvirtauspumpun vedenpainetta tietyssä paineessa. Kun vedenpaine on riittämätön tai katkaistaan, se voi välittömästi katkaista virran ja antaa hälytyksen. Tämä estää pumpun ylikuumenemisen. Monimutkaisissa tyhjiöjärjestelmissä ja -prosesseissa laitteiden tiukkojen vaatimusten mukaisia parametreja tulisi ohjata mikrotietokoneohjelmalla, mikä lisää turvallisuutta ja luotettavuutta.
7. Tyhjiöjärjestelmän suunnittelun on oltava energiansäästöistä, kustannusten alentamisesta, helppokäyttöisyydestä ja luotettavuudesta riippuvaista. Tällä on suuri taloudellinen merkitys, ja se voi johtaa suunniteltujen tyhjiölaitteiden laajaan myyntiin markkinoilla.
Magnetron-päällystyslaitteet käyttävät keskitaajuista magnetronisputterointia ja monikaari-ioniyhdistelmätekniikkaa, joka soveltuu muoville, lasille, keramiikalle, rautatuotteille ja muille tuotteille, kuten laseille, kelloille, matkapuhelinlisävarusteille, elektroniikkatuotteille, kristallilasille jne. Kalvokerroksen tarttuvuus, toistettavuus, tiheys ja tasaisuus ovat hyviä, ja sillä on suuren tuoton ja korkean tuotesaannon ominaisuudet.
Käytetään pääasiassa matkapuhelimissa, joissa on metallinäppäimet, korttikotelot, keskikehys, joka on päällystetty kullalla, ruusukullanvärisellä, mustalla, mustalla ja sinisellä asemetallilla.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 24. tammikuuta 2025