دستگاه پوشش خلاء روی سیستم پمپاژ دارای الزامات اساسی زیر است:
(1) سیستم خلاء پوششدهی باید نرخ پمپاژ به اندازه کافی بزرگی داشته باشد، که نه تنها گازهای آزاد شده از زیرلایه و مواد تبخیر شده و اجزای موجود در محفظه خلاء را در طول فرآیند پوششدهی به سرعت پمپ کند، بلکه بتواند گازهای آزاد شده از فرآیند پوششدهی اسپاترینگ و یونی و همچنین نشت گاز از فرآیند پوششدهی اسپاترینگ و یونی و سیستم را نیز به سرعت پمپ کند.
نشت گاز در طول فرآیند پاشش و پوشش یونی نیز میتواند به سرعت استخراج شود. به منظور بهبود بهرهوری دستگاه پوشش، باید بتواند به سرعت کار کند.
(2) خلاء نهایی سیستم پمپاژ دستگاه پوششدهی باید با توجه به الزامات فیلمهای مختلف متفاوت باشد. جدول 7-9 محدوده درجه خلاء مورد نیاز فرآیند پوششدهی فیلمهای مختلف را نشان میدهد.
(3) در پمپ دیفیوژن روغن به عنوان سیستم پمپاژ اصلی، لازم است نرخ بازگشت روغن پمپ تا حد امکان کم باشد، زیرا بخار روغن برگشتی سطح قطعه کار را آلوده کرده و باعث کاهش کیفیت فیلم میشود. در فرآیند پوششدهی، الزامات کیفیت فیلم به ویژه بالا است، بهتر است از سیستم پمپاژ بدون روغن استفاده شود. هنگام استفاده از سیستم پمپاژ پمپ دیفیوژن روغن، باید تله جذب ورودی پمپ، تله سرد و سایر اجزا تنظیم شود و باید به رسانایی اجزا توجه شود تا اطمینان حاصل شود که سیستم خلاء حداکثر سرعت پمپاژ را حفظ میکند.
(4) میزان نشتی محفظه پوشش خلاء و سیستم پمپاژ آن باید کم باشد، یعنی حتی اگر نشتی گاز ناچیز باشد، بر کیفیت فیلم تأثیر میگذارد. بنابراین، برای اطمینان از عملکرد آببندی سیستم، میزان نشتی کل سیستم باید به محدوده مجاز محدود شود.
(5) عملکرد، استفاده و نگهداری سیستم خلاء باید راحت، پایدار و قابل اعتماد باشد.
–این مقاله توسط منتشر شده استتولید کننده دستگاه پوشش دهی در خلاءگوانگدونگ ژنهوا
زمان ارسال: ۱۴ دسامبر ۲۰۲۳