۳. تأثیر دمای زیرلایه
دمای زیرلایه یکی از شرایط مهم برای رشد غشا است. این دما، انرژی اضافی را برای اتمها یا مولکولهای غشا فراهم میکند و عمدتاً بر ساختار غشا، ضریب آگلوتیناسیون، ضریب انبساط و چگالی تجمع تأثیر میگذارد. بازتاب ماکروسکوپی در فیلم، ضریب شکست، پراکندگی، تنش، چسبندگی، سختی و عدم انحلالپذیری به دلیل دمای متفاوت زیرلایه، بسیار متفاوت خواهد بود.
(1) بستر سرد: معمولاً برای تبخیر لایه نازک فلزی استفاده میشود.
(2) مزایای دمای بالا:
① مولکولهای گاز باقیمانده جذبشده روی سطح زیرلایه حذف میشوند تا نیروی اتصال بین زیرلایه و مولکولهای رسوبشده افزایش یابد.
(2) تبدیل جذب فیزیکی به جذب شیمیایی لایه فیلم را ارتقا دهید، تعامل بین مولکولها را افزایش دهید، فیلم را محکم کنید، چسبندگی را افزایش دهید و استحکام مکانیکی را بهبود بخشید.
③ کاهش اختلاف بین دمای تبلور مجدد مولکولی بخار و دمای زیرلایه، بهبود چگالی لایه فیلم، افزایش سختی لایه فیلم برای از بین بردن استرس داخلی.
(3) عیب دمای خیلی بالا: ساختار لایه فیلم تغییر میکند یا مواد فیلم تجزیه میشوند.
۴. اثرات بمباران یونی
بمباران پس از آبکاری: بهبود چگالی تجمع فیلم، افزایش واکنش شیمیایی، افزایش ضریب شکست فیلم اکسید، استحکام و مقاومت مکانیکی و چسبندگی. افزایش آستانه آسیب نوری.
۵. تأثیر جنس زیرلایه
(1) ضریب انبساط متفاوت مواد زیرلایه منجر به تنش حرارتی متفاوت فیلم میشود.
(2) میل ترکیبی شیمیایی متفاوت بر چسبندگی و استحکام فیلم تأثیر میگذارد.
(3) زبری و نقصهای زیرلایه منابع اصلی پراکندگی لایه نازک هستند.
۶. تأثیر تمیز کردن سطح زیرین
باقی ماندن آلودگی و مواد شوینده روی سطح زیرلایه منجر به موارد زیر خواهد شد: (1) چسبندگی ضعیف فیلم به زیرلایه؛ ② افزایش جذب پراکندگی، کاهش توانایی ضد لیزری؛ ③ عملکرد ضعیف انتقال نور.
ترکیب شیمیایی (نوع خلوص و ناخالصی)، حالت فیزیکی (پودر یا بلوک) و پیش تصفیه (پخت در خلاء یا آهنگری) ماده فیلم بر ساختار و عملکرد فیلم تأثیر میگذارد.
۸. تأثیر روش تبخیر
انرژی جنبشی اولیهای که توسط روشهای مختلف تبخیر برای تبخیر مولکولها و اتمها فراهم میشود، بسیار متفاوت است و در نتیجه تفاوت زیادی در ساختار فیلم ایجاد میکند که به صورت تفاوت در ضریب شکست، پراکندگی و چسبندگی آشکار میشود.
۹. تأثیر زاویه تابش بخار
زاویه تابش بخار به زاویه بین جهت تابش مولکولی بخار و عمود بر سطح زیرلایه پوشش داده شده اشاره دارد که بر ویژگیهای رشد و چگالی تجمع فیلم تأثیر میگذارد و تأثیر زیادی بر ضریب شکست و ویژگیهای پراکندگی فیلم دارد. برای به دست آوردن فیلمهای با کیفیت بالا، لازم است زاویه تابش انسانی مولکولهای بخار ماده فیلم کنترل شود که عموماً باید به 30 درجه محدود شود.
۱۰. اثرات عملیات پخت
عملیات حرارتی فیلم در جو، منجر به آزادسازی تنش و مهاجرت حرارتی مولکولهای گاز محیط و مولکولهای فیلم میشود و میتواند ساختار فیلم را نوترکیب کند، بنابراین تأثیر زیادی بر ضریب شکست، تنش و سختی فیلم دارد.
زمان ارسال: ۲۹ مارس ۲۰۲۴