Ponpaketa sisteman dagoen hutsean estaltzeko makinak oinarrizko baldintza hauek ditu:
(1) Estaldura-hutsune sistemak ponpaketa-tasa nahikoa handia izan behar du, eta horrek ez du substratutik eta lurrundutako materialetatik eta huts-ganberako osagaietatik estaldura-prozesuan askatzen diren gasak azkar ponpatu behar bakarrik, baizik eta sputtering eta ioi-estaldura prozesutik askatzen diren gasak azkar ponpatu behar ere, baita sputtering eta ioi-estaldura prozesutik eta sistematik ateratzen diren gas-ihesak ere.
Sputtering eta ioi estaldura prozesuan zehar gertatzen den gas-ihesa ere azkar atera daiteke. Estaldura-makinaren produktibitatea hobetzeko, azkar funtzionatu ahal izan behar du.
(2) Estaldura-makinaren ponpaketa-sistemaren hutsune gorena film desberdinen eskakizunen araberakoa izan behar da. 7-9 taulan film desberdinen estaldura-prozesuak behar duen hutsune-maila erakusten da.
(3) Olio-difusio ponpan, ponpa-sistema nagusi gisa, ponparen olio-itzulera-tasa ahalik eta txikiena izatea eskatzen du, itzulerako olio-lurrunak piezaren gainazala kutsatuko baitu eta filmaren kalitatea gutxitu egingo baitu. Filmaren kalitate-eskakizunak bereziki altuak direnez estaldura-prozesuan, hobe da oliorik gabeko ponpaketa-sistema erabiltzea. Olio-difusio ponpa-ponpa sistema erabiltzean, ponparen sarrerako adsorzio-tranpa, hotz-tranpa eta beste osagai batzuk jarri behar dira, eta osagaien eroankortasunari erreparatu behar zaio hutsune-sistemak ponpaketa-abiadura maximoa mantentzen duela ziurtatzeko.
(4) Hutsean estaltzeko ganberaren eta haren ponpaketa-sistemaren ihes-tasa txikia izan behar da, hau da, gas-ihes arrasto bat bada ere, filmaren kalitatean eragina izango du. Beraz, sistemaren zigilatze-errendimendua bermatzeko, sistemaren ihes-tasa osoa onargarri den tartean mugatu behar da.
(5) Hutsune-sistemaren funtzionamendua, erabilera eta mantentze-lanak erosoak, egonkorrak eta fidagarriak izan behar dira.
–Artikulu hau argitaratu duhutsean estaltzeko makina fabrikatzaileaGuangdong Zhenhua
Argitaratze data: 2023ko abenduaren 14a