Pumbasüsteemi vaakumkatmismasinal on järgmised põhinõuded:
(1) Kattevaakumsüsteemil peaks olema piisavalt suur pumpamiskiirus, mis peaks mitte ainult kiiresti välja pumpama substraadist ja aurustunud materjalidest ning vaakumkambris olevatest komponentidest katmisprotsessi ajal eralduvad gaasid, vaid ka suutma kiiresti välja pumbata pihustus- ja ioonkatmisprotsessist eralduvad gaasid, samuti pihustus- ja ioonkatmisprotsessi ning süsteemi gaasilekke.
Pihustus- ja ioonkatmisprotsessi käigus tekkivat gaasileket saab samuti kiiresti eemaldada. Kattemasina tootlikkuse parandamiseks peaks see suutma kiiresti töötada.
(2) Katmismasina pumpsüsteemi lõplik vaakum peaks olema erinev vastavalt erinevate kilede nõuetele. Tabel 7-9 näitab vaakumi astmete vahemikku, mida nõutakse erinevate kilede katmisprotsessis.
(3) Õli difusioonpumba puhul, kuna see on peamine pumpamissüsteem, peab pumba õli tagasivoolukiirus olema võimalikult väike, kuna tagasivooluõli aur saastab töödeldava detaili pinda ja halvendab kile kvaliteeti. Kuna kile kvaliteedinõuded on katmisprotsessis eriti kõrged, on kõige parem kasutada õlivaba pumpamissüsteemi. Õli difusioonpumba kasutamisel tuleks pumba sisselaskeavasse paigaldada adsorptsioonilõks, külmalõks ja muud komponendid ning pöörata tähelepanu komponentide juhtivusele, et tagada vaakumsüsteemi maksimaalne pumpamiskiirus.
(4) Vaakumkatmiskambri ja selle pumpamissüsteemi lekkekiirus peaks olema väike, st isegi väike gaasileke mõjutab kile kvaliteeti. Seetõttu tuleb süsteemi tihendusvõime tagamiseks piirata süsteemi kogulekkekiirust lubatud vahemikku.
(5) Vaakumsüsteemi töö, kasutamine ja hooldus peaksid olema mugavad, stabiilsed ja usaldusväärsed.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 14. detsember 2023