Vaakumkatmine hõlmab peamiselt vaakumauru sadestamist, pihustuskatmist ja ioonkatmist. Kõiki neid kasutatakse mitmesuguste metall- ja mittemetallkilede sadestamiseks plastdetailide pinnale destilleerimise või pihustamise teel vaakumtingimustes, mille tulemuseks on väga õhuke pinnakate, millel on silmapaistev kiire haarduvuse eelis, kuid hind on samuti kõrgem ja kasutatavate metallide tüüpe on vähem ning neid kasutatakse üldiselt kõrgema kvaliteediga toodete funktsionaalseks katmiseks.
Vaakum-aursadestamine on meetod, mille käigus metalli kuumutatakse kõrgvaakumis, mille tulemusel see sulab ja aurustub ning pärast jahutamist moodustab proovi pinnale õhukese metallkile paksusega 0,8–1,2 μm. See täidab moodustunud toote pinnal olevad väikesed nõgusad ja kumerad osad, et saada peegelsile pind. Kui vaakum-aursadestamist tehakse kas peegeldava peegli efekti saavutamiseks või madala haarduvusega terase vaakum-aurustamiseks, tuleb alumine pind katta.
Pihustamine viitab tavaliselt magnetronpihustamisele, mis on kiire ja madala temperatuuriga pihustamismeetod. Protsess nõuab umbes 1×10⁻⁸Torri vaakumit, st 1,3×10⁻⁸Pa vaakumseisundit, mis on täidetud inertse gaasi argooniga (Ar), ning plastaluse (anoodi) ja metallkatoodi (katoodi) vahelist ruumi ning kõrgepinge alalisvoolu. Hõõglahenduse tekitatud inertse gaasi elektronide ergastamise tõttu tekib plasma, mis plahvatab metallkattel olevad aatomid ja sadestab need plastalusele. Enamik tavalisi metallkatteid kasutab alalisvoolu pihustamist, samas kui mittejuhtivad keraamilised materjalid kasutavad raadiosageduslikku vahelduvvoolu pihustamist.
Ioonkatmine on meetod, mille puhul gaasi või aurustunud aine osaliseks ioniseerimiseks vaakumi tingimustes kasutatakse gaaslahendust ning aurustunud aine või selle reagendid sadestatakse aluspinnale gaasiioonide või aurustunud aine ioonide pommitamise teel. Nende hulka kuuluvad magnetronpihustamise ioonkatmine, reaktiivioonkatmine, õõneskatoodiga tühjendus-ioonkatmine (õõneskatoodiga aurustamise meetod) ja mitme kaarega ioonkatmine (katoodkaar-ioonkatmine).
Vertikaalne kahepoolne magnetroni pihustamine pideva katmisega reas
Laialdane rakendusala, sobib elektroonikatoodete, näiteks sülearvuti korpuse EMI varjestuskihi, lamedate toodete ja isegi kõigi teatud kõrgusspetsifikatsiooniga lambikorpuste valmistamiseks. Suur kandevõime, kompaktne kinnitus ja kooniliste valguskorpuste astmeline kinnitus kahepoolseks katmiseks, millel on suurem kandevõime. Stabiilne kvaliteet, kilekihi hea konsistents partiist partiisse. Kõrge automatiseerituse aste ja madalad tööjõukulud.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 23. jaanuar 2025