La máquina de recubrimiento al vacío en el sistema de bombeo tiene los siguientes requisitos básicos:
(1) El sistema de recubrimiento al vacío debe tener una velocidad de bombeo suficientemente grande, que no solo debe bombear rápidamente los gases liberados del sustrato y los materiales evaporados y los componentes en la cámara de vacío durante el proceso de recubrimiento, sino que también debe poder bombear rápidamente los gases liberados del proceso de pulverización catódica y recubrimiento iónico, así como la fuga de gas del proceso de pulverización catódica y recubrimiento iónico y del sistema.
Las fugas de gas durante los procesos de pulverización catódica y recubrimiento iónico también se pueden extraer rápidamente. Para mejorar la productividad de la máquina de recubrimiento, esta debe poder operar rápidamente.
(2) El vacío final del sistema de bombeo de la máquina de recubrimiento debe variar según los requisitos de las distintas películas. La Tabla 7-9 muestra el rango de vacío requerido para el proceso de recubrimiento de diferentes películas.
(3) En la bomba de difusión de aceite, como sistema de bombeo principal, se requiere que la tasa de retorno de aceite sea la menor posible, ya que el vapor de aceite de retorno contaminará la superficie de la pieza y reducirá la calidad de la película. En procesos de recubrimiento con requisitos de calidad de película particularmente altos, se recomienda utilizar un sistema de bombeo sin aceite. Al utilizar un sistema de bombeo con bomba de difusión de aceite, se deben instalar en la entrada de la bomba una trampa de adsorción, una trampa de frío y otros componentes, prestando atención a la conductividad de los componentes para garantizar que el sistema de vacío mantenga la velocidad máxima de bombeo.
(4) La tasa de fugas de la cámara de recubrimiento al vacío y su sistema de bombeo debe ser baja; es decir, incluso una fuga de gas traza afectará la calidad de la película. Por lo tanto, para garantizar el buen sellado del sistema, la tasa de fugas total debe limitarse al rango admisible.
(5) La operación, el uso y el mantenimiento del sistema de vacío deben ser convenientes, estables y con un rendimiento confiable.
–Este artículo es publicado porfabricante de máquinas de recubrimiento al vacíoGuangdong Zhenhua
Hora de publicación: 14 de diciembre de 2023