Vakua tegaĵmaŝino sur la pumpsistemo havas la jenajn bazajn postulojn:
(1) La vakua sistemo por tegado devus havi sufiĉe grandan pumprapidecon, kiu ne nur rapide pumpu la gasojn liberigitajn de la substrato kaj vaporiĝintaj materialoj kaj la komponantoj en la vakua ĉambro dum la tega procezo, sed ankaŭ povu rapide pumpi la gasojn liberigitajn de la ŝprucado kaj jona tega procezo, same kiel la gaselfluadon de la ŝprucado kaj jona tega procezo kaj la sistemo.
La gaselfluo dum ŝprutado kaj jona tegaĵprocezo ankaŭ povas esti rapide eltirita. Por plibonigi la produktivecon de la tegaĵmaŝino, ĝi devus povi funkcii rapide.
(2) La finfina vakuo de la pumpsistemo de la tegaĵmaŝino devus esti malsama laŭ la postuloj de malsamaj filmoj. Tabelo 7-9 montras la gamon de vakuogrado bezonata de la tegaĵprocezo de malsamaj filmoj.
(3) Ĉe la olea difuza pumpilo, kiel ĉefa pumpsistemo, necesas ke la olea revena rapideco de la pumpilo estu kiel eble plej malgranda, ĉar la revena olea vaporo poluos la surfacon de la laborpeco kaj kaŭzos malpliiĝon de la kvalito de la filmo. Ĉar la postuloj pri filmokvalito estas aparte altaj en la tega procezo, estas plej bone uzi senolean pumpsistemon. Kiam oni uzas olean difuzan pumpsistemon, oni devas agordi la adsorban kaptilon, malvarman kaptilon kaj aliajn komponantojn en la pumpil-enirejo, kaj atenti la konduktivecon de la komponantoj por certigi, ke la vakua sistemo konservu la maksimuman pumprapidecon.
(4) La elflukvanto de la vakua tegaĵa ĉambro kaj ĝia pumpsistemo devas esti malgranda, t.e., eĉ se temas pri spura gaselfluo, ĝi influos la kvaliton de la filmo. Tial, por certigi la sigelan funkciadon de la sistemo, la totala elflukvanto de la sistemo devas esti limigita al la permesita intervalo.
(5) La funkciado, uzado kaj bontenado de la vakua sistemo devas esti oportunaj, stabilaj kaj fidindaj.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikanto de vakuaj tegaĵmaŝinojGuangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 14-a de decembro 2023