Η μηχανή επίστρωσης κενού στο σύστημα άντλησης έχει τις ακόλουθες βασικές απαιτήσεις:
(1) Το σύστημα κενού επίστρωσης θα πρέπει να έχει επαρκώς μεγάλο ρυθμό άντλησης, ο οποίος όχι μόνο θα πρέπει να αντλεί γρήγορα τα αέρια που απελευθερώνονται από το υπόστρωμα και τα εξατμισμένα υλικά και τα εξαρτήματα στον θάλαμο κενού κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επίστρωσης, αλλά και να είναι σε θέση να αντλεί γρήγορα τα αέρια που απελευθερώνονται από τη διαδικασία ψεκασμού και ιοντικής επίστρωσης, καθώς και τη διαρροή αερίου της διαδικασίας ψεκασμού και ιοντικής επίστρωσης και του συστήματος.
Η διαρροή αερίου κατά τη διάρκεια της διαδικασίας ψεκασμού και επίστρωσης με ιόντα μπορεί επίσης να εξαχθεί γρήγορα. Προκειμένου να βελτιωθεί η παραγωγικότητα της μηχανής επίστρωσης, θα πρέπει να μπορεί να λειτουργεί γρήγορα.
(2) Το μέγιστο κενό του συστήματος άντλησης της μηχανής επίστρωσης πρέπει να διαφέρει ανάλογα με τις απαιτήσεις των διαφόρων μεμβρανών. Ο Πίνακας 7-9 δείχνει το εύρος του βαθμού κενού που απαιτείται από τη διαδικασία επίστρωσης των διαφόρων μεμβρανών.
(3) Στην αντλία διάχυσης λαδιού, ως κύριο σύστημα άντλησης αντλίας, απαιτείται ο ρυθμός επιστροφής λαδιού της αντλίας να είναι όσο το δυνατόν μικρότερος, επειδή οι ατμοί επιστροφής λαδιού θα μολύνουν την επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας και θα προκαλέσουν μείωση της ποιότητας της μεμβράνης. Στη διαδικασία επίστρωσης, οι απαιτήσεις ποιότητας της μεμβράνης είναι ιδιαίτερα υψηλές, επομένως είναι καλύτερο να χρησιμοποιείτε σύστημα άντλησης χωρίς λάδι. Όταν χρησιμοποιείτε σύστημα άντλησης αντλίας διάχυσης λαδιού, θα πρέπει να ρυθμίσετε την παγίδα προσρόφησης στην είσοδο της αντλίας, την παγίδα ψύχους και άλλα εξαρτήματα και να δώσετε προσοχή στην αγωγιμότητα των εξαρτημάτων για να διασφαλίσετε ότι το σύστημα κενού θα διατηρήσει τη μέγιστη ταχύτητα άντλησης.
(4) Ο ρυθμός διαρροής του θαλάμου επικάλυψης κενού και του συστήματος άντλησης θα πρέπει να είναι μικρός, δηλαδή, ακόμη και αν πρόκειται για διαρροή ίχνους αερίου, θα επηρεάσει την ποιότητα της μεμβράνης. Επομένως, για να διασφαλιστεί η απόδοση στεγανοποίησης του συστήματος, ο συνολικός ρυθμός διαρροής του συστήματος πρέπει να περιορίζεται στο επιτρεπόμενο εύρος.
(5) Η λειτουργία, η χρήση και η συντήρηση του συστήματος κενού θα πρέπει να είναι βολικές, σταθερές και αξιόπιστες.
– Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται απόκατασκευαστής μηχανών επικάλυψης κενούGuangdong Zhenhua
Ώρα δημοσίευσης: 14 Δεκεμβρίου 2023