Vakuumbelægningsmaskinen på pumpesystemet har følgende grundlæggende krav:
(1) Belægningsvakuumsystemet skal have en tilstrækkelig stor pumpehastighed, som ikke blot hurtigt skal pumpe de gasser ud, der frigives fra substratet og fordampede materialer og komponenterne i vakuumkammeret under belægningsprocessen, men også være i stand til hurtigt at pumpe de gasser ud, der frigives fra sputtering- og ionbelægningsprocessen, samt gaslækagen fra sputtering- og ionbelægningsprocessen og systemet.
Gaslækagen under sputtering og ioncoatingprocessen kan også hurtigt fjernes. For at forbedre coatingmaskinens produktivitet skal den kunne fungere hurtigt.
(2) Det ultimative vakuum i belægningsmaskinens pumpesystem bør variere afhængigt af kravene til forskellige film. Tabel 7-9 viser det vakuumgradsområde, der kræves til belægningsprocessen for forskellige film.
(3) I oliediffusionspumpen som hovedpumpe kræver pumpens oliereturhastighed så lille som muligt, da returoliedampen vil forurene emnets overflade og forringe filmens kvalitet. I forbindelse med filmkvalitetskravene er det særligt højt i belægningsprocessen, så det er bedst at bruge et oliefrit pumpesystem. Når der anvendes et oliediffusionspumpesystem, bør der installeres adsorptionsfælder, kuldefælder og andre komponenter i pumpens indløb, og der skal være opmærksomhed på komponenternes ledningsevne for at sikre, at vakuumsystemet opretholder den maksimale pumpehastighed.
(4) Lækagehastigheden i vakuumbelægningskammeret og dets pumpesystem skal være lille, dvs. selv om der er sporgaslækage, vil det påvirke filmens kvalitet. For at sikre systemets tætningsevne skal systemets samlede lækagehastighed derfor begrænses til det tilladte område.
(5) Drift, brug og vedligeholdelse af vakuumsystemet skal være bekvem, stabil og have en pålidelig ydeevne.
– Denne artikel er udgivet afproducent af vakuumbelægningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Opslagstidspunkt: 14. dec. 2023