Mae technoleg CVD yn seiliedig ar adwaith cemegol. Cyfeirir fel arfer at yr adwaith lle mae'r adweithyddion mewn cyflwr nwyol ac un o'r cynhyrchion mewn cyflwr solet fel adwaith CVD, felly rhaid i'w system adwaith cemegol fodloni'r tri amod canlynol.
(1) Ar dymheredd y dyddodiad, rhaid i'r adweithyddion fod â phwysedd anwedd digon uchel. Os yw'r adweithyddion i gyd yn nwyol ar dymheredd ystafell, mae'r ddyfais dyddodiad yn gymharol syml, os yw'r adweithyddion yn anwadal ar dymheredd ystafell yn fach iawn, mae angen ei gynhesu i'w wneud yn anwadal, ac weithiau mae angen defnyddio'r nwy cludwr i'w ddwyn i'r siambr adwaith.
(2) O gynhyrchion yr adwaith, rhaid i bob sylwedd fod yn y cyflwr nwyol ac eithrio'r dyddodiad a ddymunir, sydd yn y cyflwr solid.
(3) Dylai pwysedd anwedd y ffilm a adneuwyd fod yn ddigon isel i sicrhau bod y ffilm a adneuwyd wedi'i glynu'n gadarn i swbstrad sydd â thymheredd dyddodiad penodol yn ystod yr adwaith dyddodiad. Rhaid i bwysedd anwedd deunydd y swbstrad ar dymheredd y dyddodiad fod yn ddigon isel hefyd.
Mae'r adweithyddion dyddodiad wedi'u rhannu i'r tair prif gyflwr canlynol.
(1) Cyflwr nwyol. Deunyddiau ffynhonnell sy'n nwyol ar dymheredd ystafell, fel methan, carbon deuocsid, amonia, clorin, ac ati, sydd fwyaf ffafriol i ddyddodiad anwedd cemegol, ac y mae'r gyfradd llif yn hawdd ei rheoleiddio ar eu cyfer.
(2) Hylif. Mae rhai sylweddau'n adweithio ar dymheredd ystafell neu dymheredd ychydig yn uwch, mae pwysau anwedd uchel, fel TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, ac ati, a gellir eu defnyddio i gario'r nwy (fel H2, N2, Ar) i lifo trwy wyneb yr hylif neu'r hylif y tu mewn i'r swigod, ac yna cario anwedd dirlawn y sylwedd i'r stiwdio.
(3) Cyflwr solid. Yn absenoldeb ffynhonnell nwyol neu hylif addas, dim ond deunyddiau crai cyflwr solid y gellir eu defnyddio. Mae gan rai elfennau neu eu cyfansoddion mewn cannoedd o raddau bwysau anwedd sylweddol, fel TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, ac ati, i'r stiwdio gan ddefnyddio'r nwy cludwr a adneuwyd yn yr haen ffilm.
Y math sefyllfaol mwyaf cyffredin yw trwy adwaith nwy penodol a'r deunydd ffynhonnell nwy-solid neu nwy-hylif, gan ffurfio cydrannau nwyol priodol i'w danfon i'r stiwdio. Er enghraifft, mae nwy HCl a metel Ga yn adweithio i ffurfio cydran nwyol GaCl, sy'n cael ei gludo i'r stiwdio ar ffurf GaCl.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Tach-16-2023