Vakuový lakovací stroj na čerpacím systému má následující základní požadavky:
(1) Vakuový systém pro nanášení povlaků by měl mít dostatečně velký čerpací výkon, který by měl nejen rychle odčerpat plyny uvolňované ze substrátu a odpařených materiálů a složek ve vakuové komoře během procesu nanášení povlaků, ale také by měl být schopen rychle odčerpat plyny uvolňované z procesu naprašování a iontového nanášení, jakož i únik plynu z procesu naprašování a iontového nanášení a systému.
Únik plynu během procesu naprašování a iontového povlakování lze také rychle odstranit. Aby se zvýšila produktivita povlakovacího stroje, měl by být schopen pracovat rychle.
(2) Konečný podtlak čerpacího systému nanášecího stroje by se měl lišit v závislosti na požadavcích různých fólií. Tabulka 7-9 uvádí rozsah stupně podtlaku požadovaného procesem nanášení různých fólií.
(3) V olejovém difuzním čerpadle jako hlavním čerpacím systému je vyžadována co nejmenší návratnost oleje z čerpadla, protože vracející se olejové páry znečišťují povrch obrobku a způsobují snížení kvality filmu. Pokud jsou požadavky na kvalitu filmu obzvláště vysoké v procesu nanášení povlaků, je nejlepší použít bezolejový čerpací systém. Při použití olejového difuzního čerpadla by měl být na vstupu čerpadla instalován adsorpční lapač, chladicí lapač a další komponenty a měla by být věnována pozornost vodivosti komponent, aby se zajistilo, že vakuový systém udrží maximální čerpací rychlost.
(4) Míra úniku z vakuové lakovací komory a jejího čerpacího systému by měla být malá, tj. i když se jedná o stopový únik plynu, ovlivní to kvalitu filmu. Aby byl zajištěn těsnicí výkon systému, musí být celková míra úniku omezena na povolený rozsah.
(5) Provoz, používání a údržba vakuového systému by měly být pohodlné, stabilní a spolehlivé.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 14. prosince 2023