1. Chromový terč Chrom jako materiál pro naprašovací film se nejen snadno kombinuje se substrátem a má vysokou adhezi, ale také s chromem a oxidem vytváří film CrO3, jeho mechanické vlastnosti, odolnost vůči kyselinám a tepelná stabilita jsou lepší. Chrom v neúplném oxidačním stavu může také vytvářet slabou absorpční vrstvu. Bylo hlášeno, že chrom s čistotou vyšší než 98 % lze použít k výrobě obdélníkových nebo válcových chromových terčů. Kromě toho je technologie slinování pro výrobu obdélníkových chromových terčů také pokročilá.
2. Příprava ITO terče V minulosti se pro výrobu ITO terčů obvykle používaly slitiny In-Sn, které se následně nanášely pomocí kyslíku a následně se vytvořil ITO film. Tato metoda je obtížně kontrolovatelná a má špatnou reprodukovatelnost. Proto byl v posledních letech nahrazen ITO terčem. Typický proces výroby ITO terčů spočívá v tom, že se v závislosti na poměru kvality důkladně promíchá kulovým mletím, poté se přidá speciální organický práškový kompozitní materiál, který se smíchá do požadovaného tvaru a tlakovým zhutněním se deska zahřívá na vzduchu rychlostí 100 °C/h, po 1 hodině se zahřívá na 1600 °C a poté se ochladí rychlostí 100 °C/h na pokojovou teplotu. Rychlost ochlazování 100 °C/h na pokojovou teplotu se zhotoví. Při výrobě terčů je nutné vyleštit rovinu terče, aby se zabránilo vzniku horkých míst v procesu naprašování.
3. Zlaté a zlaté terče, okouzlující lesk a dobrá odolnost proti korozi, jsou ideálním dekorativním povrchovým nátěrovým materiálem. Mokrá pokovovací metoda používaná v minulosti měla malou přilnavost filmu, nízkou pevnost, špatnou odolnost proti oděru a také problémy se znečištěním odpadními kapalinami, proto byla nevyhnutelně nahrazena suchou pokovovací metodou. Typy terčů zahrnují rovinné terče, lokální kompozitní terče, trubkové terče, lokální kompozitní trubkové terče atd. Jejich příprava spočívá především v dávkování vakuového tavení, moření, válcování za studena, žíhání, jemné válcování, stříhání, čištění povrchu, válcování za studena za kompozitních obalů a řadu procesů, jako je příprava procesu. Tato technologie prošla v Číně certifikací a přinesla dobré výsledky.
4. Magnetický terč Magnetický terč se používá hlavně k pokovování tenkovrstvých magnetických hlav, tenkovrstvých disků a dalších magnetických tenkovrstvých zařízení. Vzhledem k použití metody stejnosměrného magnetronového naprašování magnetických materiálů je magnetronové naprašování obtížnější. Proto se k přípravě takových terčů používají CT terče s tzv. „mezerovým typem terče“. Princip spočívá ve vyříznutí mnoha mezer na povrchu terčového materiálu, aby se na povrchu terče mohl generovat magnetický systém a rozptylové magnetické pole, takže povrch terče může vytvořit ortogonální magnetické pole a dosáhnout účelu magnetronového naprašování. Uvádí se, že tloušťka tohoto terčového materiálu může dosáhnout 20 mm.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 24. ledna 2024