A macchina di rivestimentu à vuoto nantu à u sistema di pompaggio hà i seguenti requisiti basi:
(1) U sistema di vacuum di rivestimentu deve avè una velocità di pompaggio sufficientemente grande, chì ùn deve micca solu pompà rapidamente i gasi liberati da u sustratu è i materiali evaporati è i cumpunenti in a camera di vacuum durante u prucessu di rivestimentu, ma ancu esse capace di pompà rapidamente i gasi liberati da u prucessu di sputtering è di rivestimentu ionicu, è ancu a fuga di gas di u prucessu di sputtering è di rivestimentu ionicu è di u sistema.
A fuga di gas durante u prucessu di sputtering è di rivestimentu ionicu pò ancu esse estratta rapidamente. Per migliurà a produttività di a macchina di rivestimentu, deve esse capace di funziunà rapidamente.
(2) U vacuum finale di u sistema di pompaggio di a macchina di rivestimentu deve esse differente secondu i requisiti di i diversi filmi. A Tavula 7-9 hè a gamma di gradi di vacuum richiesti da u prucessu di rivestimentu di diversi filmi.
(3) In a pompa di diffusione d'oliu cum'è u sistema di pompaggio principale di a pompa, hè necessariu chì a velocità di ritornu di l'oliu di a pompa sia a più chjuca pussibule, perchè u vapore d'oliu di ritornu inquinerà a superficia di a pezza è farà calà a qualità di u film. In i requisiti di qualità di u film chì sò particularmente alti in u prucessu di rivestimentu, hè megliu aduprà u sistema di pompaggio senza oliu. Quandu si usa u sistema di pompaggio di a pompa di diffusione d'oliu, si deve mette in l'entrata di a pompa a trappula d'adsorbimentu, a trappula di fretu è altri cumpunenti, è si deve fà attenzione à a cunduttività di i cumpunenti per assicurà chì u sistema di vacuum mantenga a velocità massima di pompaggio.
(4) A velocità di fuga di a camera di rivestimentu à vuoto è di u so sistema di pompaggio deve esse chjuca, vale à dì, ancu s'ellu si tratta di una fuga di gas traccia, affetterà a qualità di u film. Dunque, per assicurà e prestazioni di sigillatura di u sistema, a velocità di fuga totale di u sistema deve esse limitata à l'intervallu permessu.
(5) U funziunamentu, l'usu è a manutenzione di u sistema di vacuum devenu esse cunvenienti, stabili è affidabili.
–Questu articulu hè statu publicatu dafabricatore di macchine di rivestimentu à vuotoGuangdong Zhenhua
Data di publicazione: 14 dicembre 2023