1. Bersagliu di cromu U cromu cum'è materiale di film di sputtering ùn hè micca solu faciule da cumminà cù u sustratu cù alta adesione, ma ancu u cromu è l'ossidu per generà un film CrO3, e so proprietà meccaniche, resistenza à l'acidi, stabilità termica sò megliu. Inoltre, u cromu in u statu di ossidazione incompleta pò ancu generà un film di assorbimentu debule. Hè statu signalatu chì u cromu cù una purezza di più di 98% hè statu trasfurmatu in bersagli rettangulari o bersagli di cromu cilindrici. Inoltre, a tecnulugia di l'usu di u metudu di sinterizazione per fà un bersagliu rettangulare di cromu hè ancu matura.
2. Preparazione di u bersagliu ITO di u materiale di bersagliu di film ITO utilizatu in u passatu, di solitu si utilizavanu materiali di lega In-Sn per fà bersagli, è dopu in u prucessu di rivestimentu attraversu l'ossigenu, è dopu generà un film ITO. Stu metudu hè difficiule da cuntrullà u gas di reazione è hà una scarsa riproducibilità. Cusì, in l'ultimi anni hè statu rimpiazzatu da u bersagliu di sinterizazione ITO. U prucessu tipicu di u materiale di bersagliu ITO hè secondu u rapportu di qualità, attraversu u metudu di macinazione à palle serà cumpletamente mischiatu, è dopu aghjunghjendu l'agente cumpostu di polvere organica speciale serà mischiatu in a forma necessaria, è attraversu a cumpattazione pressurizzata, è dopu a piastra in aria à 100 ℃ / h di velocità di riscaldamentu à 1600 ℃ dopu avè tenutu 1 ora, è dopu a velocità di raffreddamentu di 100 ℃ / h finu à a temperatura ambiente è fatta. Velocità di raffreddamentu di 100 ℃ / h finu à a temperatura ambiente è fatta. Quandu si facenu bersagli, u pianu di u bersagliu hè necessariu per esse lucidatu, per evità punti caldi in u prucessu di sputtering.
3. L'oru è a lega d'oru, cù un aspettu lustru è una bona resistenza à a currusione, sò i materiali ideali per u rivestimentu decorativu di e superfici. U metudu di placcatura umida utilizatu in u passatu hà una bassa adesione di u film, una bassa resistenza à l'abrasione, è ancu prublemi di inquinamentu da i liquidi di scarto, dunque hè inevitabilmente rimpiazzatu da a placcatura a seccu. U tipu di target hà target pianu, target cumpostu lucale, target tubulare, target tubulare cumpostu lucale è cusì. U so metudu di preparazione hè principalmente attraversu u dosaggio di fusione à vuoto, decapaggio, laminazione à fretu, ricottura, laminazione fine, taglio, pulizia di a superficia, laminazione à fretu di pacchetti cumposti è una seria di prucessi cum'è a preparazione di u prucessu. Sta tecnulugia hà passatu a valutazione in Cina, ottenendu boni risultati.
4. Bersagliu di materiale magneticu U bersagliu di materiale magneticu hè principalmente adupratu per a placcatura di teste magnetiche à film sottile, dischi di film sottile è altri dispositivi magnetichi à film sottile. A causa di l'usu di u metudu di sputtering magnetron DC per i materiali magnetichi, u sputtering magnetron hè più difficiule. Dunque, i bersagli CT cù un cusì dettu "tipu di bersagliu gap" sò aduprati per a preparazione di tali bersagli. U principiu hè di taglià parechji spazii nantu à a superficia di u materiale di bersagliu in modu chì u sistema magneticu pò esse generatu nantu à a superficia di u campu magneticu di fuga di u bersagliu di materiale magneticu, in modu chì a superficia di u bersagliu pò furmà un campu magneticu ortogonale è ottene u scopu di u film di sputtering magnetron. Si dice chì u spessore di stu materiale di bersagliu pò ghjunghje à 20 mm.
–Questu articulu hè statu publicatu dafabricatore di macchine di rivestimentu à vuotoGuangdong Zhenhua
Data di publicazione: 24 di ghjennaghju di u 2024