La màquina de recobriment al buit del sistema de bombament té els següents requisits bàsics:
(1) El sistema de buit de recobriment ha de tenir una velocitat de bombament prou gran, que no només ha de bombar ràpidament els gasos alliberats del substrat i els materials evaporats i els components de la cambra de buit durant el procés de recobriment, sinó que també ha de ser capaç de bombar ràpidament els gasos alliberats del procés de polvorització i recobriment iònic, així com les fuites de gas del procés de polvorització i recobriment iònic i del sistema.
La fuita de gas durant el procés de pulverització catòdica i recobriment iònic també es pot extreure ràpidament. Per tal de millorar la productivitat de la màquina de recobriment, aquesta ha de ser capaç de funcionar ràpidament.
(2) El buit final del sistema de bombament de la màquina de recobriment ha de ser diferent segons els requisits de les diferents pel·lícules. La taula 7-9 mostra el rang de grau de buit requerit pel procés de recobriment de diferents pel·lícules.
(3) En la bomba de difusió d'oli, com a sistema de bombament principal, cal que la velocitat de retorn d'oli de la bomba sigui la més petita possible, ja que el vapor d'oli de retorn contaminarà la superfície de la peça i farà que la qualitat de la pel·lícula disminueixi. Com que els requisits de qualitat de la pel·lícula són particularment alts en el procés de recobriment, és millor utilitzar el sistema de bombament sense oli. Quan s'utilitza un sistema de bombament de bomba de difusió d'oli, s'ha de configurar la trampa d'adsorció d'entrada de la bomba, la trampa de fred i altres components, i s'ha de prestar atenció a la conductivitat dels components per garantir que el sistema de buit mantingui la velocitat màxima de bombament.
(4) La taxa de fuita de la cambra de recobriment al buit i el seu sistema de bombament han de ser petites, és a dir, fins i tot si es tracta d'una fuita de gas traça, afectarà la qualitat de la pel·lícula. Per tant, per tal de garantir el rendiment de segellat del sistema, la taxa de fuita total del sistema s'ha de limitar al rang permès.
(5) El funcionament, l'ús i el manteniment del sistema de buit han de ser pràctics, estables i amb un rendiment fiable.
–Aquest article ha estat publicat perfabricant de màquines de recobriment al buitGuangdong Zhenhua
Data de publicació: 14 de desembre de 2023