Mašina za vakuumsko premazivanje na sistemu pumpanja ima sljedeće osnovne zahtjeve:
(1) Vakuumski sistem za premazivanje treba da ima dovoljno veliku brzinu pumpanja, koja ne samo da treba brzo da ispumpa gasove oslobođene iz podloge i isparanih materijala i komponenti u vakuumskoj komori tokom procesa premazivanja, već i da bude u stanju da brzo ispumpa gasove oslobođene tokom procesa raspršivanja i jonskog premazivanja, kao i da spreči curenje gasa iz procesa raspršivanja i jonskog premazivanja i sistema.
Curenje plina tokom procesa raspršivanja i jonskog premazivanja također se može brzo ukloniti. Kako bi se poboljšala produktivnost mašine za premazivanje, ona bi trebala biti u stanju da radi brzo.
(2) Krajnji vakuum pumpnog sistema mašine za premazivanje treba da se razlikuje u zavisnosti od zahtjeva različitih filmova. Tabela 7-9 prikazuje raspon stepena vakuuma potreban za proces premazivanja različitih filmova.
(3) U pumpi za difuziju ulja, kao glavnoj pumpi, potrebno je da povratna brzina ulja pumpe bude što manja, jer će povratna uljna para zagaditi površinu radnog komada i uzrokovati smanjenje kvalitete filma. Kada su zahtjevi za kvalitetom filma posebno visoki u procesu premazivanja, najbolje je koristiti sistem pumpanja bez ulja. Prilikom korištenja sistema pumpanja difuzijom ulja, treba postaviti adsorpcijsku zamku, hladnu zamku i druge komponente na ulazu pumpe, te obratiti pažnju na provodljivost komponenti kako bi se osiguralo da vakuumski sistem održava maksimalnu brzinu pumpanja.
(4) Brzina curenja komore za vakuumsko premazivanje i njenog sistema za pumpanje treba biti mala, tj. čak i ako se radi o curenju tragova gasa, to će uticati na kvalitet filma. Stoga, kako bi se osigurale performanse zaptivanja sistema, ukupna brzina curenja sistema mora biti ograničena na dozvoljeni raspon.
(5) Rad, korištenje i održavanje vakuumskog sistema trebaju biti praktični, stabilni i pouzdani.
–Ovaj članak je objavljen od straneproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 14. decembar 2023.