১. ক্রোমিয়াম টার্গেট ক্রোমিয়াম একটি স্পুটারিং ফিল্ম উপাদান হিসেবে কেবল উচ্চ আনুগত্যের সাবস্ট্রেটের সাথে একত্রিত করা সহজ নয়, বরং ক্রোমিয়াম এবং অক্সাইডও CrO3 ফিল্ম তৈরি করে, এর যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য, অ্যাসিড প্রতিরোধ ক্ষমতা, তাপীয় স্থিতিশীলতা আরও ভালো। এছাড়াও, অসম্পূর্ণ জারণ অবস্থায় ক্রোমিয়াম একটি দুর্বল শোষণ ফিল্মও তৈরি করতে পারে। ৯৮% এর বেশি বিশুদ্ধতা সম্পন্ন ক্রোমিয়ামকে আয়তক্ষেত্রাকার লক্ষ্যবস্তু বা নলাকার ক্রোমিয়াম লক্ষ্যবস্তুতে তৈরি করা হয়েছে বলে জানা গেছে। এছাড়াও, ক্রোমিয়াম আয়তক্ষেত্রাকার লক্ষ্যবস্তু তৈরির জন্য সিন্টারিং পদ্ধতি ব্যবহারের প্রযুক্তিও পরিপক্ক।
2. ITO লক্ষ্য অতীতে ব্যবহৃত ITO ফিল্ম লক্ষ্য উপাদান প্রস্তুতি, সাধারণত লক্ষ্য তৈরির জন্য In-Sn খাদ উপকরণ ব্যবহার করা হত, এবং তারপর অক্সিজেনের মাধ্যমে আবরণ প্রক্রিয়ায়, এবং তারপর ITO ফিল্ম তৈরি করা হত। এই পদ্ধতিটি প্রতিক্রিয়া গ্যাস নিয়ন্ত্রণ করা কঠিন এবং এর পুনরুৎপাদন ক্ষমতা কম। সুতরাং, সাম্প্রতিক বছরগুলিতে ITO সিন্টারিং লক্ষ্য দ্বারা প্রতিস্থাপিত হয়েছে। ITO লক্ষ্য উপাদান সাধারণত মানের অনুপাত অনুসারে, বল মিলিং পদ্ধতির মাধ্যমে সম্পূর্ণরূপে মিশ্রিত করা হবে, এবং তারপর বিশেষ জৈব পাউডার যৌগিক এজেন্ট যোগ করে প্রয়োজনীয় আকারে মিশ্রিত করা হবে, এবং চাপযুক্ত কম্প্যাকশনের মাধ্যমে, এবং তারপর প্লেটটি 100 ℃ / ঘন্টা তাপীকরণ হারে 1600 ℃ এ বাতাসে 1 ঘন্টা ধরে রাখার পরে, এবং তারপর 100 ℃ / ঘন্টা ঠান্ডা করার হার ঘরের তাপমাত্রায় নেমে আসে এবং তৈরি করা হয়। 100 ℃ / ঘন্টা ঠান্ডা করার হার ঘরের তাপমাত্রায় নেমে আসে এবং তৈরি করা হয়। লক্ষ্য তৈরি করার সময়, লক্ষ্য সমতলটি পালিশ করা প্রয়োজন, যাতে স্পুটারিং প্রক্রিয়ায় গরম দাগ এড়ানো যায়।
৩. সোনা এবং সোনার খাদ লক্ষ্য সোনা, দীপ্তিময়, ভাল জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা সহ, আদর্শ আলংকারিক পৃষ্ঠ আবরণ উপকরণ। অতীতে ব্যবহৃত ভেজা প্রলেপ পদ্ধতিটি ছোট, কম শক্তি, দুর্বল ঘর্ষণ প্রতিরোধ ক্ষমতা, পাশাপাশি বর্জ্য তরল দূষণের সমস্যা, তাই অনিবার্যভাবে শুষ্ক প্রলেপ দ্বারা প্রতিস্থাপিত হয়। লক্ষ্য ধরণের মধ্যে রয়েছে সমতল লক্ষ্য, স্থানীয় যৌগিক লক্ষ্য, নলাকার লক্ষ্য, স্থানীয় যৌগিক নলাকার লক্ষ্য এবং আরও অনেক কিছু। এর প্রস্তুতি পদ্ধতিটি মূলত ভ্যাকুয়াম গলানো, পিকিং, কোল্ড রোলিং, অ্যানিলিং, ফাইন রোলিং, শিয়ারিং, পৃষ্ঠ পরিষ্কার, কোল্ড রোলিং কম্পোজিট প্যাকেজ এবং প্রক্রিয়া প্রস্তুতির মতো প্রক্রিয়াগুলির একটি সিরিজের ডোজের মাধ্যমে। এই প্রযুক্তি চীনে মূল্যায়ন পাস করেছে, ভাল ফলাফল ব্যবহার করেছে।
৪. চৌম্বকীয় উপাদান লক্ষ্য চৌম্বকীয় উপাদান লক্ষ্য মূলত পাতলা ফিল্ম চৌম্বকীয় মাথা, পাতলা ফিল্ম ডিস্ক এবং অন্যান্য চৌম্বকীয় পাতলা ফিল্ম ডিভাইস প্রলেপ দেওয়ার জন্য ব্যবহৃত হয়। চৌম্বকীয় পদার্থের জন্য ডিসি ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং পদ্ধতি ব্যবহারের কারণে ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং আরও কঠিন। অতএব, তথাকথিত "গ্যাপ টার্গেট টাইপ" সহ সিটি লক্ষ্যগুলি এই জাতীয় লক্ষ্যবস্তু তৈরির জন্য ব্যবহার করা হয়। নীতি হল লক্ষ্যবস্তুর পৃষ্ঠের অনেক ফাঁক কেটে ফেলা যাতে চৌম্বকীয় উপাদানের পৃষ্ঠের উপর চৌম্বকীয় ব্যবস্থা তৈরি করা যায় লক্ষ্যবস্তু ফুটো চৌম্বক ক্ষেত্রের, যাতে লক্ষ্যবস্তু পৃষ্ঠটি একটি অর্থোগোনাল চৌম্বক ক্ষেত্র তৈরি করতে পারে এবং ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং ফিল্মের উদ্দেশ্য অর্জন করতে পারে। বলা হয় যে এই লক্ষ্যবস্তুর পুরুত্ব 20 মিমি পর্যন্ত পৌঁছাতে পারে।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: জানুয়ারী-২৪-২০২৪