CVD প্রযুক্তি রাসায়নিক বিক্রিয়ার উপর ভিত্তি করে তৈরি। যে বিক্রিয়ায় বিক্রিয়কগুলি গ্যাসীয় অবস্থায় থাকে এবং একটি উৎপাদ কঠিন অবস্থায় থাকে তাকে সাধারণত CVD বিক্রিয়া বলা হয়, তাই এর রাসায়নিক বিক্রিয়া ব্যবস্থাকে নিম্নলিখিত তিনটি শর্ত পূরণ করতে হবে।
(১) জমা তাপমাত্রায়, বিক্রিয়কগুলির পর্যাপ্ত উচ্চ বাষ্পচাপ থাকতে হবে। যদি বিক্রিয়কগুলি ঘরের তাপমাত্রায় সমস্ত গ্যাসীয় হয়, তবে জমা করার যন্ত্রটি তুলনামূলকভাবে সহজ, যদি বিক্রিয়কগুলি ঘরের তাপমাত্রায় উদ্বায়ী হয় তবে খুব ছোট, এটিকে উদ্বায়ী করার জন্য উত্তপ্ত করতে হবে এবং কখনও কখনও এটিকে বিক্রিয়ক চেম্বারে আনার জন্য বাহক গ্যাস ব্যবহার করতে হবে।
(২) বিক্রিয়ার উৎপাদগুলির মধ্যে, কাঙ্ক্ষিত জমা ছাড়া, যা কঠিন অবস্থায় থাকে, সমস্ত পদার্থ অবশ্যই গ্যাসীয় অবস্থায় থাকতে হবে।
(৩) জমা হওয়া ফিল্মের বাষ্পের চাপ যথেষ্ট কম হওয়া উচিত যাতে নিশ্চিত করা যায় যে জমা হওয়া ফিল্মটি জমা হওয়ার বিক্রিয়ার সময় একটি নির্দিষ্ট জমা তাপমাত্রা সহ একটি সাবস্ট্রেটের সাথে দৃঢ়ভাবে সংযুক্ত থাকে। জমা তাপমাত্রায় সাবস্ট্রেট উপাদানের বাষ্পের চাপও যথেষ্ট কম হতে হবে।
ডিপোজিশন বিক্রিয়কগুলিকে নিম্নলিখিত তিনটি প্রধান অবস্থায় ভাগ করা হয়েছে।
(১) গ্যাসীয় অবস্থা। উৎস পদার্থ যা ঘরের তাপমাত্রায় গ্যাসীয়, যেমন মিথেন, কার্বন ডাই অক্সাইড, অ্যামোনিয়া, ক্লোরিন ইত্যাদি, যা রাসায়নিক বাষ্প জমার জন্য সবচেয়ে সহায়ক এবং যার প্রবাহ হার সহজেই নিয়ন্ত্রিত হয়।
(২) তরল। ঘরের তাপমাত্রায় বা সামান্য বেশি তাপমাত্রায়, উচ্চ বাষ্পচাপযুক্ত কিছু বিক্রিয়া পদার্থ, যেমন TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, ইত্যাদি, তরলের পৃষ্ঠ বা বুদবুদের ভিতরের তরলের মধ্য দিয়ে গ্যাস (যেমন H2, N2, Ar) প্রবাহিত করতে এবং তারপর পদার্থের সম্পৃক্ত বাষ্পগুলিকে স্টুডিওতে বহন করতে ব্যবহার করা যেতে পারে।
(৩) কঠিন অবস্থা। উপযুক্ত গ্যাসীয় বা তরল উৎসের অভাবে, কেবল কঠিন-অবস্থার ফিডস্টক ব্যবহার করা যেতে পারে। কিছু উপাদান বা তাদের যৌগের শত শত ডিগ্রিতে উল্লেখযোগ্য বাষ্প চাপ থাকে, যেমন TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, ইত্যাদি, ফিল্ম স্তরে জমা হওয়া বাহক গ্যাস ব্যবহার করে স্টুডিওতে বহন করা যেতে পারে।
একটি নির্দিষ্ট গ্যাস এবং উৎস উপাদান গ্যাস-কঠিন বা গ্যাস-তরল বিক্রিয়ার মাধ্যমে আরও সাধারণ পরিস্থিতির ধরণ, স্টুডিও সরবরাহের জন্য উপযুক্ত গ্যাসীয় উপাদানগুলির গঠন। উদাহরণস্বরূপ, HCl গ্যাস এবং ধাতু Ga গ্যাসীয় উপাদান GaCl গঠনের জন্য বিক্রিয়া করে, যা GaCl আকারে স্টুডিওতে পরিবহন করা হয়।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: নভেম্বর-১৬-২০২৩