Вакуумната машина за покритие на помпената система има следните основни изисквания:
(1) Вакуумната система за нанасяне на покритие трябва да има достатъчно голяма скорост на изпомпване, която не само трябва бързо да изпомпва газовете, отделени от субстрата и изпарените материали и компонентите във вакуумната камера по време на процеса на нанасяне на покритие, но също така да може бързо да изпомпва газовете, отделени от процеса на разпрашване и йонно покритие, както и да предотвратява изтичането на газ от процеса на разпрашване и йонно покритие и системата.
Изтичането на газ по време на процеса на разпрашаване и йонно покритие също може бързо да се отстрани. За да се подобри производителността на машината за покритие, тя трябва да може да работи бързо.
(2) Крайният вакуум на помпената система на машината за нанасяне на покритие трябва да е различен в зависимост от изискванията на различните филми. Таблица 7-9 показва диапазона на степента на вакуум, необходим за процеса на нанасяне на покритие на различните филми.
(3) В маслено-дифузионната помпа, като основна помпа, се изисква скоростта на връщане на маслото от помпата да е възможно най-малка, тъй като връщащите се маслени пари ще замърсят повърхността на детайла и ще доведат до влошаване на качеството на филма. Тъй като изискванията за качество на филма са особено високи в процеса на нанасяне на покритие, най-добре е да се използва безмаслена помпа. При използване на маслено-дифузионна помпа, на входа на помпата трябва да се монтират адсорбционен уловител, студен уловител и други компоненти, като се обърне внимание на проводимостта на компонентите, за да се гарантира, че вакуумната система поддържа максимална скорост на изпомпване.
(4) Степента на изтичане от вакуумната камера за покритие и нейната помпена система трябва да е малка, т.е. дори и следи от изтичане на газ ще повлияят на качеството на филма. Следователно, за да се гарантира уплътнителната ефективност на системата, общата степен на изтичане на системата трябва да бъде ограничена до допустимия диапазон.
(5) Работата, употребата и поддръжката на вакуумната система трябва да бъдат удобни, стабилни и надеждни.
–Тази статия е публикувана отпроизводител на машини за вакуумно покритиеГуандун Джънхуа
Време на публикуване: 14 декември 2023 г.