1. Хромова мишена Хромът като материал за разпрашително фолио не само се комбинира лесно със субстрата с висока адхезия, но и с хром и оксид за образуване на CrO3 филм, неговите механични свойства, киселинна устойчивост и термична стабилност са по-добри. Освен това, хромът в непълно окислително състояние може да генерира и слабо абсорбиращ филм. Съобщава се, че хром с чистота над 98% може да се използва за получаване на правоъгълни или цилиндрични хромови мишени. Освен това, технологията за синтероване на правоъгълни хромови мишени е усъвършенствана.
2. Подготовка на ITO мишена. В миналото за изработка на мишена обикновено се използваха In-Sn сплави, а след това в процеса на покритие се нанасяше кислород, за да се генерира ITO филм. Този метод е труден за контролиране на реакционния газ и има лоша възпроизводимост. Поради това, през последните години той беше заменен от ITO мишена със синтероване. Типичният процес на ITO мишена е, в зависимост от съотношението на качеството, чрез топково смилане, той се смесва напълно, след което се добавя специален органичен прахообразен композитен агент, който се смесва в желаната форма и чрез уплътняване под налягане се получава плоча на въздух със 100 ℃/ч, като се нагрява до 1600 ℃ за 1 час, след което се охлажда със 100 ℃/ч до стайна температура и се получава. След това се охлажда със 100 ℃/ч до стайна температура. При изработка на мишена, равнината на мишената трябва да се полира, за да се избегнат горещи точки по време на процеса на разпрашване.
3. Златото и златните сплави, очарователни по блясък и добра устойчивост на корозия, са идеалният материал за декоративно повърхностно покритие. Методът на мокро покритие, използван в миналото, има малка адхезия на филма, ниска якост, лоша устойчивост на износване, както и проблеми със замърсяването с отпадъчни течности, поради което неизбежно се заменя със сухо покритие. Видовете цели са плоски цели, локални композитни цели, тръбни цели, локални композитни тръбни цели и т.н. Методът им на подготовка се състои главно от дозиране на вакуумно топене, ецване, студено валцуване, отгряване, фино валцуване, срязване, почистване на повърхността, студено валцуване на композитен пакет и серия от процеси, като например подготовката на процеса. Тази технология е преминала оценка в Китай и е показала добри резултати.
4. Мишена от магнитен материал Мишената от магнитен материал се използва главно за покритие на тънкослойни магнитни глави, тънкослойни дискове и други магнитни тънкослойни устройства. Поради използването на метод на DC магнетронно разпрашване за магнитни материали, магнетронното разпрашване е по-трудно. Поради това за подготовката на такива мишени се използват CT мишени с така наречения „тип мишена с пролука“. Принципът е да се изрежат множество пролуки по повърхността на мишената, така че магнитната система да може да генерира магнитно поле на разсейване върху повърхността на мишената от магнитния материал, така че повърхността на мишената да може да формира ортогонално магнитно поле и да постигне целта на магнетронно разпрашителното фолио. Твърди се, че дебелината на този мишенен материал може да достигне 20 мм.
–Тази статия е публикувана отпроизводител на машини за вакуумно покритиеГуандун Джънхуа
Време на публикуване: 24 януари 2024 г.