3. Влияние на температурата на основата
Температурата на субстрата е едно от важните условия за растежа на мембраната. Тя осигурява допълнителен енергиен принос към мембранните атоми или молекули и влияе главно върху структурата на мембраната, коефициента на аглутинация, коефициента на разширение и плътността на агрегация. Макроскопското отражение във филма, коефициентът на пречупване, разсейването, напрежението, адхезията, твърдостта и неразтворимостта, ще бъдат значително различни поради различната температура на субстрата.
(1) Студен субстрат: обикновено се използва за изпаряване на метален филм.
(2) Предимства на високата температура:
① Остатъчните газови молекули, адсорбирани върху повърхността на субстрата, се отстраняват, за да се увеличи силата на свързване между субстрата и отложените молекули;
(2) Насърчаване на трансформацията на физическата адсорбция в хемосорбция на филмовия слой, подобряване на взаимодействието между молекулите, засилване на стегнатостта на филма, увеличаване на адхезията и подобряване на механичната якост;
③ Намалете разликата между температурата на молекулярна рекристализация на парите и температурата на субстрата, подобрете плътността на филмовия слой, увеличете твърдостта на филмовия слой, за да елиминирате вътрешното напрежение.
(3) Недостатъкът на твърде високата температура: структурата на филмовия слой се променя или филмовият материал се разлага.
4. Ефекти от йонното бомбардиране
Бомбардиране след покритие: подобряване на плътността на агрегация на филма, усилване на химическата реакция, увеличаване на коефициента на пречупване на оксидния филм, механичната якост и устойчивост и адхезия. Прагът на светлинно увреждане се увеличава.
5. Влиянието на материала на основата
(1) Различният коефициент на разширение на материала на основата ще доведе до различно термично напрежение на филма;
(2) Различният химичен афинитет ще повлияе на адхезията и твърдостта на филма;
(3) Грапавостта и дефектите на подложката са основните източници на разсейване на тънките филми.
6. Въздействие на почистването на субстрата
Остатъци от замърсявания и препарат върху повърхността на субстрата ще доведат до: (1) лоша адхезия на филма към субстрата; 2) Увеличава се абсорбцията на разсейващата светлина, което води до слаба антилазерна способност; 3) Слабо пропускане на светлина.
Химичният състав (чистота и видове примеси), физическото състояние (прах или блок) и предварителната обработка (вакуумно синтероване или коване) на филмовия материал ще повлияят на структурата и характеристиките на филма.
8. Влияние на метода на изпаряване
Началната кинетична енергия, осигурена от различните методи на изпаряване за изпаряване на молекули и атоми, е много различна, което води до голяма разлика в структурата на филма, която се проявява като разлика в коефициента на пречупване, разсейването и адхезията.
9. Влияние на ъгъла на падане на парите
Ъгълът на падане на парите се отнася до ъгъла между посоката на молекулярното излъчване на парите и нормалата на повърхността на покрития субстрат, който влияе върху характеристиките на растеж и плътността на агрегация на филма и има голямо влияние върху коефициента на пречупване и характеристиките на разсейване на филма. За да се получат висококачествени филми, е необходимо да се контролира ъгълът на излъчване на парните молекули от филмовия материал, който обикновено трябва да бъде ограничен до 30°.
10. Ефекти от печенето
Термичната обработка на филма в атмосферата благоприятства освобождаването на напрежението и термичната миграция на молекулите на околния газ и молекулите на филма и може да доведе до рекомбинация на структурата на филма, така че има голямо влияние върху коефициента на пречупване, напрежението и твърдостта на филма.
Време на публикуване: 29 март 2024 г.