Вакуумная пакрывальная машына на помпавай сістэме мае наступныя асноўныя патрабаванні:
(1) Вакуумная сістэма пакрыцця павінна мець дастаткова вялікую хуткасць адпампоўкі, якая павінна не толькі хутка адпампоўваць газы, якія вылучаюцца з падкладкі і выпарваных матэрыялаў і кампанентаў у вакуумнай камеры падчас працэсу пакрыцця, але і быць здольнай хутка адпампоўваць газы, якія вылучаюцца ў працэсе распылення і іённага пакрыцця, а таксама ўцечку газу з працэсу распылення і іённага пакрыцця і сістэмы.
Уцечку газу падчас распылення і іённага пакрыцця таксама можна хутка выдаліць. Каб павысіць прадукцыйнасць пакрывальнай машыны, яна павінна працаваць хутка.
(2) Канчатковае вакуумнае разрэджанне сістэмы помпаў пакрывальнай машыны павінна адрознівацца ў залежнасці ад патрабаванняў розных плёнак. У табліцы 7-9 паказаны дыяпазон ступені вакууму, неабходнай для працэсу пакрыцця розных плёнак.
(3) У сістэме дыфузійнага алею ў якасці асноўнай помпы патрабуецца мінімальная хуткасць вяртання алею, бо пары вяртання алею будуць забруджваць паверхню апрацоўванай дэталі і прыводзіць да пагаршэння якасці плёнкі. Паколькі патрабаванні да якасці плёнкі асабліва высокія ў працэсе нанясення пакрыцця, лепш за ўсё выкарыстоўваць безалейную сістэму перапампоўвання. Пры выкарыстанні сістэмы дыфузійнага алею ў помпе неабходна ўсталяваць адсарбцыйную пастку, халодную пастку і іншыя кампаненты на ўваходзе помпы, а таксама звярнуць увагу на праводнасць кампанентаў, каб забяспечыць падтрыманне максімальнай хуткасці перапампоўвання вакуумнай сістэмай.
(4) Хуткасць уцечкі з вакуумнай камеры нанясення пакрыцця і яе сістэмы помпавання павінна быць невялікай, г.зн. нават слядовыя ўцечкі газу паўплываюць на якасць плёнкі. Такім чынам, каб забяспечыць эфектыўнасць герметызацыі сістэмы, агульная хуткасць уцечкі сістэмы павінна быць абмежавана дапушчальным дыяпазонам.
(5) Эксплуатацыя, выкарыстанне і абслугоўванне вакуумнай сістэмы павінны быць зручнымі, стабільнымі і надзейнымі.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 14 снежня 2023 г.