Распыляльныя машыны, таксама вядомыя як сістэмы распылення, — гэта вузкаспецыялізаванае абсталяванне, якое выкарыстоўваецца ў працэсе нанясення тонкіх плёнак. Яно працуе па прынцыпе распылення, які прадугледжвае бамбардзіроўку мэтавага матэрыялу высокаэнергетычнымі іонамі або атамамі. Працэс выкідвае паток атамаў з мэтавага матэрыялу, які затым наносіцца на падкладку для ўтварэння тонкай плёнкі.
Выкарыстанне распыляльных машын значна пашырылася дзякуючы іх здольнасці вырабляць плёнкі высокай чысціні, выдатнай аднастайнасці і кантраляванай таўшчыні. Такія плёнкі маюць шырокае прымяненне ў мікраэлектроніцы, оптыцы, сонечных элементах, магнітных носьбітах інфармацыі і іншых галінах.
Нядаўнія распрацоўкі ў галіне машын для распылення прывялі да пашырэння функцыянальнасці і паляпшэння характарыстык. Прыкметным прагрэсам з'яўляецца ўкараненне тэхналогіі магнетроннага распылення, якая дазваляе дасягнуць больш высокай хуткасці нанясення і палепшыць якасць плёнкі. Гэтая інавацыя дазваляе наносіць розныя матэрыялы, у тым ліку металы, аксіды металаў і паўправаднікі.
Акрамя таго, машыны для распылення цяпер абсталяваны перадавымі сістэмамі кіравання, якія забяспечваюць дакладны кантроль параметраў нанясення, такіх як ціск газу, шчыльнасць магутнасці, склад мішэні і тэмпература падкладкі. Гэтыя дасягненні паляпшаюць характарыстыкі плёнкі і дазваляюць вырабляць плёнкі з уласцівасцямі, адаптаванымі да канкрэтных ужыванняў.
Акрамя таго, пастаяннае развіццё ў галіне нанатэхналогій таксама прыносіць вялікую карысць ад машын для распылення. Даследчыкі выкарыстоўваюць гэтыя машыны для стварэння нанаструктур і нанаструктураваных пакрыццяў з надзвычай высокай дакладнасцю. Машыны для распылення здольныя наносіць тонкія плёнкі на складаныя формы і вялікія плошчы, што робіць іх ідэальнымі для розных нанамаштабных ужыванняў.
Нядаўна паведамлялася, што каманда навукоўцаў з вядомай даследчай установы паспяхова распрацавала новую машыну для распылення, якая можа наносіць тонкія плёнкі з беспрэцэдэнтнай дакладнасцю. Гэтая перадавая машына спалучае ў сабе найноўшыя алгарытмы кіравання і новую канструкцыю магнетрона для дасягнення найвышэйшай аднастайнасці і кантролю таўшчыні плёнкі. Даследчая група прадбачыць, што яе машына рэвалюцыянізуе працэс вытворчасці электронных прылад і сістэм назапашвання энергіі наступнага пакалення.
Распрацоўка новых матэрыялаў з палепшанай функцыянальнасцю — гэта нястомная праца навуковай супольнасці. Машыны для распылення сталі незаменным інструментам у гэтых даследаваннях, спрыяючы адкрыццю і сінтэзу новых матэрыялаў з унікальнымі ўласцівасцямі. Даследчыкі выкарыстоўваюць гэтыя машыны для вывучэння механізмаў росту плёнак, вывучэння матэрыялаў з індывідуальнымі ўласцівасцямі і адкрыцця новых матэрыялаў, якія могуць сфармаваць будучыню тэхналогій.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 30 кастрычніка 2023 г.