1. Хромавая мішэнь Хром як матэрыял для распыляльнай плёнкі не толькі лёгка спалучаецца з падкладкай, забяспечваючы высокую адгезію, але таксама злучаецца з хромам і аксідам для стварэння плёнкі CrO3, якая мае лепшыя механічныя ўласцівасці, кіслотаўстойлівасць і тэрмаўстойлівасць. Акрамя таго, хром у няпоўнай ступені акіслення таксама можа ствараць слаба паглынальную плёнку. Паведамлялася, што хром з чысцінёй больш за 98% можна выкарыстоўваць у выглядзе прастакутных або цыліндрычных хромавых мішэняў. Акрамя таго, тэхналогія спякання для атрымання прастакутных хромавых мішэняў таксама з'яўляецца дастаткова развітай.
2. Падрыхтоўка плёнкі ITO. Раней для вырабу мішэняў звычайна выкарыстоўваліся сплавы In-Sn, а затым у працэсе нанясення пакрыццяў прапускалі кісларод, што прывяло да стварэння плёнкі ITO. Гэты метад складана кантраляваць рэакцыйны газ і мае дрэнную ўзнаўляльнасць. Таму ў апошнія гады мішэні ITO былі заменены спяканнем. Тыповы працэс вырабу мішэняў ITO заключаецца ў тым, што ў залежнасці ад якасці матэрыялу мішэні старанна змешваюць з дапамогай шаровага млына, затым дадаюць спецыяльны арганічны парашок, які надае яму патрэбную форму і прэсуюць пад ціскам. Затым пласціна награваецца на паветры са хуткасцю 100 ℃/г да 1600 ℃ на працягу 1 гадзіны, а затым астуджаецца да пакаёвай тэмпературы са хуткасцю 100 ℃/г. Пры вырабе мішэняў неабходна адпаліраваць плоскасць мішэні, каб пазбегнуць гарачых кропак у працэсе распылення.
3. Залатыя і залатыя сплавы, якія маюць бляск і добрую каразійную ўстойлівасць, з'яўляюцца ідэальнымі дэкаратыўнымі паверхневымі пакрыццямі. Раней выкарыстоўваўся мокры метад пакрыцця, які меў невялікую адгезію плёнкі, нізкую трываласць, дрэнную ўстойлівасць да ізаляцыі, а таксама праблемы з забруджваннем адходамі і вадкасцю, таму непазбежна замяняўся сухім метадам пакрыцця. Тыпы мішэняў ўключаюць плоскія мішэні, лакальныя кампазітныя мішэні, трубчастыя мішэні, лакальныя кампазітныя трубчастыя мішэні і г.д. Метад іх падрыхтоўкі ў асноўным ажыццяўляецца шляхам дазавання вакуумнага плаўлення, травлення, халоднай пракаткі, адпалу, тонкай пракаткі, рэзкі, ачысткі паверхні, халоднай пракаткі кампазітнага пакета і шэрагу працэсаў, такіх як падрыхтоўка працэсу. Гэтая тэхналогія прайшла ацэнку ў Кітаі і дала добрыя вынікі выкарыстання.
4. Мішэнь з магнітнага матэрыялу Мішэнь з магнітнага матэрыялу ў асноўным выкарыстоўваецца для нанясення пакрыццяў на тонкаплёнкавыя магнітныя галоўкі, тонкаплёнкавыя дыскі і іншыя магнітныя тонкаплёнкавыя прылады. З-за выкарыстання метаду магнетроннага распылення пастаяннага току для магнітных матэрыялаў магнетроннае распыленне з'яўляецца больш складаным. Таму для падрыхтоўкі такіх мішэняў выкарыстоўваюцца CT-мішэні з так званым «тыпам мішэні з зазорамі». Прынцып заключаецца ў тым, каб выразаць мноства зазораў на паверхні матэрыялу мішэні, каб магнітная сістэма магла генеравацца на паверхні мішэні з магнітнага матэрыялу, у выніку чаго паверхня мішэні магла фарміраваць артаганальнае магнітнае поле і дасягнуць мэты магнетроннага распылення. Таўшчыня гэтага матэрыялу мішэні можа дасягаць 20 мм.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 24 студзеня 2024 г.