3. Уплыў тэмпературы падкладкі
Тэмпература падкладкі з'яўляецца адной з важных умоў для росту мембраны. Яна забяспечвае дадатковую энергію для атамаў або малекул мембраны і ў асноўным уплывае на структуру мембраны, каэфіцыент аглютынацыі, каэфіцыент пашырэння і шчыльнасць агрэгацыі. Макраскапічнае адлюстраванне ў плёнцы, паказчык праламлення, рассейванне, напружанне, адгезія, цвёрдасць і нерастваральнасць будуць значна адрознівацца з-за рознай тэмпературы падкладкі.
(1) Халодная падкладка: звычайна выкарыстоўваецца для выпарвання металічнай плёнкі.
(2) Перавагі высокай тэмпературы:
① Малекулы рэшткавага газу, адсарбаваныя на паверхні падкладкі, выдаляюцца для павелічэння сілы сувязі паміж падкладкай і нанесенымі малекуламі;
(2) Спрыяе пераўтварэнню фізічнай адсорбцыі ў хімічную сорбцыю плёнкавага пласта, паляпшае ўзаемадзеянне паміж малекуламі, робіць плёнку шчыльнай, павялічвае адгезію і паляпшае механічную трываласць;
③ Зменшыць розніцу паміж тэмпературай малекулярнай рэкрышталізацыі пара і тэмпературай падкладкі, палепшыць шчыльнасць плёнкавага пласта, павялічыць цвёрдасць плёнкавага пласта для ліквідацыі ўнутраных напружанняў.
(3) Недахоп занадта высокай тэмпературы: змяняецца структура плёнкавага пласта або раскладаецца плёнкавы матэрыял.
4. Эфекты іоннай бамбардзіроўкі
Бамбардзіроўка пасля нанясення пакрыцця: паляпшэнне шчыльнасці агрэгацыі плёнкі, узмацненне хімічнай рэакцыі, павелічэнне паказчыка праламлення аксіднай плёнкі, механічнай трываласці і ўстойлівасці, а таксама адгезіі. Павялічваецца парог пашкоджання святлом.
5. Уплыў матэрыялу падкладкі
(1) Розны каэфіцыент пашырэння матэрыялу падкладкі прывядзе да рознага цеплавога напружання плёнкі;
(2) Розная хімічная сроднасць будзе ўплываць на адгезію і цвёрдасць плёнкі;
(3) Шурпатасць і дэфекты падкладкі з'яўляюцца асноўнымі крыніцамі рассейвання тонкіх плёнак.
6. Уплыў ачысткі падкладкі
Рэшткі бруду і мыйнага сродку на паверхні падкладкі прывядуць да: (1) дрэннай адгезіі плёнкі да падкладкі; 2) павелічэння паглынання рассейвання, зніжэння антылазернай здольнасці; 3) нізкай прапускальнасці святла.
Хімічны склад (чысціня і тыпы прымешак), фізічны стан (парашок або блок) і папярэдняя апрацоўка (вакуумнае спяканне або коўка) плёнкавага матэрыялу будуць уплываць на структуру і характарыстыкі плёнкі.
8. Уплыў метаду выпарвання
Пачатковая кінетычная энергія, якая забяспечваецца рознымі метадамі выпарэння для выпарэння малекул і атамаў, вельмі адрозніваецца, што прыводзіць да вялікай розніцы ў структуры плёнкі, якая праяўляецца ў розніцы ў паказчыку праламлення, рассейванні і адгезіі.
9. Уплыў вугла падзення пары
Кут падзення пары адносіцца да вугла паміж кірункам малекулярнага выпраменьвання пары і нармаллю да паверхні пакрытай падкладкі, які ўплывае на характарыстыкі росту і шчыльнасць агрэгацыі плёнкі, а таксама мае вялікі ўплыў на паказчык праламлення і характарыстыкі рассейвання плёнкі. Для атрымання высакаякасных плёнак неабходна кантраляваць вугал выпраменьвання малекул пары плёнкавага матэрыялу, які звычайна павінен быць абмежаваны 30°.
10. Эфекты выпечкі
Тэрмічная апрацоўка плёнкі ў атмасферы спрыяе зняццю напружання і цеплавой міграцыі малекул навакольнага газу і малекул плёнкі, і можа прывесці да рэкамбінацыі структуры плёнкі, таму яна аказвае вялікі ўплыў на паказчык праламлення, напружанне і цвёрдасць плёнкі.
Час публікацыі: 29 сакавіка 2024 г.