Вакуумнае пакрыццё ў асноўным уключае вакуумнае паравое асаджэнне, распыленне і іённае пакрыццё, усе з якіх выкарыстоўваюцца для нанясення розных металічных і неметалічных плёнак на паверхню пластыкавых дэталяў шляхам дыстыляцыі або распылення ў вакуумных умовах, што дазваляе атрымаць вельмі тонкае павярхоўнае пакрыццё з выдатнай перавагай хуткай адгезіі, але кошт таксама вышэй, і тыпаў металаў, з якімі можна працаваць, менш, і звычайна выкарыстоўваюцца для функцыянальнага пакрыцця вырабаў вышэйшага гатунку.
Вакуумнае паравое асаджэнне — гэта метад награвання металу пад высокім вакуумам, у выніку якога ён плавіцца, выпараецца і пасля астуджэння ўтварае на паверхні ўзору тонкую металічную плёнку таўшчынёй 0,8-1,2 мкм. Пры гэтым запаўняюцца невялікія ўвагнутыя і выпуклыя часткі паверхні адфармаванага вырабу, каб атрымаць люстраную паверхню. Пры вакуумным паравым асаджэнні для атрымання эфекту адлюстравання люстранога адлюстравання або для вакуумнага выпарвання сталі з нізкай адгезіяй ніжняя паверхня павінна быць пакрыта.
Распыленне звычайна адносіцца да магнетроннага распылення, якое з'яўляецца метадам высакахуткаснага нізкатэмпературнага распылення. Працэс патрабуе вакууму каля 1×10⁻³Торр, гэта значыць 1,3×10⁻³Па, запоўненага інэртным газам аргонам (Ar). Прастора паміж пластыкавай падкладкай (анодам) і металічнай мішэнню (катодам) плюс пастаянны ток высокага напружання. З-за ўзбуджэння электронаў інэртным газам, які ўтвараецца тлеючым разрадам, утвараецца плазма, якая выбухае атамы металічнай мішэні і асядае іх на пластыкавую падкладку. У большасці металічных пакрыццяў выкарыстоўваецца распыленне пастаяннага току, у той час як у неправодзячых керамічных матэрыялах выкарыстоўваецца радыёчастотнае распыленне пераменнага току.
Іённае пакрыццё — гэта метад, пры якім газавы разрад выкарыстоўваецца для частковай іанізацыі газу або выпаранага рэчыва ў вакуумных умовах, і выпаранае рэчыва або яго рэагенты наносяцца на падкладку шляхам бамбардзіроўкі іонамі газу або іонамі выпаранага рэчыва. Да іх адносяцца іённае пакрыццё магнетронным распыленнем, рэактыўнае іённае пакрыццё, іённае пакрыццё разрадам з полым катодам (метад асаджэння з паравой фазы з полым катодам) і шматдугавое іённае пакрыццё (іённае пакрыццё катоднай дугай).
Вертыкальнае двухбаковае магнетроннае распыленне бесперапыннага пакрыцця ў лініі
Шырокае прымяненне, можа выкарыстоўвацца для электронных вырабаў, такіх як абалонка ноўтбука, пласт экранавання ад электрамагнітных перашкод, плоскія вырабы і нават усе вырабы з чаш лямпаў пэўнай вышыні. Вялікая грузападымальнасць, кампактны заціск і шахматны заціск канічных чаш лямпаў для двухбаковага пакрыцця, што дазваляе павялічыць грузападымальнасць. Стабільная якасць, добрая кансістэнцыя плёнкавага пласта ад партыі да партыі. Высокая ступень аўтаматызацыі і нізкія эксплуатацыйныя выдаткі на працу.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 23 студзеня 2025 г.