Nasos sistemindəki vakuum örtük maşını aşağıdakı əsas tələblərə malikdir:
(1) Kaplama vakuum sistemi kifayət qədər böyük nasos sürətinə malik olmalıdır ki, bu da örtük prosesi zamanı substratdan və buxarlanmış materiallardan və vakuum kamerasındakı komponentlərdən sərbəst buraxılan qazları sürətlə xaric etməli, həm də püskürtmə və ion örtüyü prosesindən çıxan qazları, eləcə də qaz sızması və sıçrama sisteminin sızması və örtüyün örtülməsi prosesi zamanı sürətlə xaric edə bilməlidir.
Püskürtmə və ion örtüyü zamanı qaz sızması da tez bir zamanda çıxarıla bilər. Kaplama maşınının məhsuldarlığını artırmaq üçün tez işləyə bilməlidir.
(2) Kaplama maşınının nasos sisteminin son vakuumu müxtəlif filmlərin tələblərinə uyğun olaraq fərqli olmalıdır. Cədvəl 7-9 müxtəlif filmlərin örtmə prosesi üçün tələb olunan vakuum dərəcəsi diapazonudur.
(3) Neft diffuziya nasosunda əsas nasos nasos sistemi nasosun yağ qaytarma sürətinin mümkün qədər kiçik olmasını tələb edir, çünki geri dönən yağ buxarı iş parçasının səthini çirkləndirəcək və filmin keyfiyyətinin aşağı düşməsinə səbəb olacaq. Filmdə keyfiyyət tələbləri örtük prosesində xüsusilə yüksəkdir, yağsız nasos sistemindən istifadə etmək yaxşıdır. Yağ diffuziya nasosu nasos sistemindən istifadə edərkən, nasos girişində adsorbsiya tələsi, soyuq tələ və digər komponentlər quraşdırılmalı və vakuum sisteminin maksimum nasos sürətini saxlamasını təmin etmək üçün komponentlərin keçiriciliyinə diqqət yetirməlidir.
(4) Vakuum örtük kamerasının və onun nasos sisteminin sızma dərəcəsi kiçik olmalıdır, yəni iz qaz sızması olsa belə, filmin keyfiyyətinə təsir edəcəkdir. Buna görə də, sistemin sızdırmazlığını təmin etmək üçün sistemin ümumi sızma dərəcəsi icazə verilən diapazonla məhdudlaşdırılmalıdır.
(5) Vakuum sisteminin istismarı, istifadəsi və saxlanması rahat, sabit və etibarlı performans olmalıdır.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 14 dekabr 2023-cü il