Püskürtmə sistemləri kimi tanınan püskürtmə çöküntü maşınları nazik təbəqənin çökmə prosesində istifadə olunan yüksək ixtisaslaşmış avadanlıqdır. O, hədəf materialı yüksək enerjili ionlar və ya atomlarla bombalamağı nəzərdə tutan püskürtmə prinsipi əsasında işləyir. Proses, hədəf materialdan bir atom axını çıxarır, daha sonra nazik bir film meydana gətirmək üçün substrata yerləşdirilir.
Püskürtmə çöküntüsü maşınlarının istifadəsi yüksək təmizlik, əla vahidlik və idarə olunan qalınlıqda filmlər istehsal etmək qabiliyyətinə görə çox genişləndi. Bu cür filmlər mikroelektronika, optika, günəş batareyaları, maqnit saxlama mühitləri və digər sahələrdə geniş tətbiqlərə malikdir.
Püskürtmə çöküntüsü maşınları sahəsində son inkişaflar təkmilləşdirilmiş funksionallıq və təkmilləşdirilmiş xüsusiyyətlərlə nəticələndi. Diqqətəlayiq irəliləyiş maqnetron püskürtmə texnologiyasının tətbiqidir ki, bu da daha yüksək çökmə sürətinə və film keyfiyyətinin yaxşılaşdırılmasına imkan verir. Bu yenilik metallar, metal oksidləri və yarımkeçiricilər də daxil olmaqla müxtəlif materialların çökdürülməsinə imkan verir.
Bundan əlavə, püskürtmə çöküntüsü maşınları indi qaz təzyiqi, güc sıxlığı, hədəf tərkibi və substratın temperaturu kimi çökmə parametrlərinə dəqiq nəzarəti təmin edən qabaqcıl idarəetmə sistemləri ilə təchiz edilmişdir. Bu irəliləyişlər film performansını yaxşılaşdırır və xüsusi tətbiqlərə uyğunlaşdırılmış xüsusiyyətlərə malik filmlərin istehsalına imkan verir.
Bundan əlavə, nanotexnologiya sahəsindəki davamlı inkişaf da püskürtmə çöküntü maşınlarından böyük fayda gətirir. Tədqiqatçılar bu maşınlardan son dərəcə yüksək dəqiqliklə nanostrukturlar və nanostrukturlu örtüklər yaratmaq üçün istifadə edirlər. Püskürtmə çöküntüsü maşınları mürəkkəb formalar və böyük ərazilər üzərində nazik təbəqələr yerləşdirməyə qadirdir və onları müxtəlif nanoölçülü tətbiqlər üçün ideal edir.
Bu yaxınlarda məlumat verilmişdir ki, tanınmış tədqiqat institutunun alimlər qrupu nazik təbəqələri görünməmiş dəqiqliklə yerləşdirə bilən yeni sıçrayış çökdürmə maşınını uğurla inkişaf etdirmişdir. Bu qabaqcıl maşın üstün plyonka vahidliyinə və qalınlığa nəzarətə nail olmaq üçün ən müasir idarəetmə alqoritmlərini və yeni maqnetron dizaynını birləşdirir. Tədqiqat qrupu onun maşınının yeni nəsil elektron cihazların və enerji saxlama sistemlərinin istehsal prosesində inqilab edəcəyini düşünür.
Təkmil funksionallığı olan yeni materialların hazırlanması elmi ictimaiyyətin amansız axtarışıdır. Sputter çökdürmə maşınları unikal xüsusiyyətlərə malik yeni materialların kəşfini və sintezini asanlaşdıran bu kəşfiyyatda əvəzsiz alətə çevrilmişdir. Tədqiqatçılar bu maşınlardan filmin böyümə mexanizmlərini öyrənmək, uyğunlaşdırılmış xüsusiyyətlərə malik materialları öyrənmək və texnologiyanın gələcəyini formalaşdıra biləcək yeni materiallar kəşf etmək üçün istifadə edirlər.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 30 oktyabr 2023-cü il