3. Substratın temperaturunun təsiri
Substrat temperaturu membranın böyüməsi üçün vacib şərtlərdən biridir. O, membran atomlarına və ya molekullarına əlavə enerji əlavə edir və əsasən membranın strukturuna, aglütinasiya əmsalına, genişlənmə əmsalına və aqreqasiya sıxlığına təsir göstərir. Filmdəki makroskopik əksetmə, səpilmə, gərginlik, yapışma, sərtlik və həll olunmazlıq fərqli substrat temperaturu səbəbindən çox fərqli olacaqdır.
(1) Soyuq substrat: ümumiyyətlə metal filmin buxarlanması üçün istifadə olunur.
(2) Yüksək temperaturun üstünlükləri:
① Substratın səthində adsorbsiya edilmiş qalıq qaz molekulları substrat və çökdürülmüş molekullar arasında bağlama qüvvəsini artırmaq üçün çıxarılır;
(2) Fiziki adsorbsiyanın film təbəqəsinin kimyosorbsiyasına çevrilməsini təşviq etmək, molekullar arasında qarşılıqlı əlaqəni artırmaq, filmi sıx etmək, yapışmanı artırmaq və mexaniki gücü artırmaq;
③ Buxar molekulyar yenidən kristallaşma temperaturu ilə substrat temperaturu arasındakı fərqi azaldın, film təbəqəsinin sıxlığını yaxşılaşdırın, daxili gərginliyi aradan qaldırmaq üçün film qatının sərtliyini artırın.
(3) Çox yüksək temperaturun dezavantajı: film təbəqəsinin strukturu dəyişir və ya film materialı parçalanır.
4. İon bombardmanının təsirləri
Kaplamadan sonra bombardman: filmin aqreqasiya sıxlığını yaxşılaşdırmaq, kimyəvi reaksiyanı artırmaq, oksid filminin sınma indeksini, mexaniki gücü və müqaviməti və yapışmanı artırmaq. İşığın zədələnmə həddi artır.
5. Substrat materialının təsiri
(1) Substrat materialının müxtəlif genişlənmə əmsalı filmin fərqli istilik gərginliyinə səbəb olacaq;
(2) Müxtəlif kimyəvi yaxınlıq filmin yapışmasına və möhkəmliyinə təsir edəcək;
(3) Substratın pürüzlülüyü və qüsurları nazik təbəqənin səpilməsinin əsas mənbəyidir.
6. Substratın təmizlənməsinin təsiri
Substratın səthində kir və yuyucu vasitənin qalıqları aşağıdakılara səbəb olacaq: (1) filmin substrata zəif yapışması; ② Səpilmənin udulması artır, anti-lazer qabiliyyəti zəifdir; ③ Zəif işıq ötürmə performansı.
Film materialının kimyəvi tərkibi (təmizlik və çirklilik növləri), fiziki vəziyyəti (toz və ya blok) və ilkin müalicə (vakuum sinterləmə və ya döymə) filmin quruluşuna və performansına təsir edəcəkdir.
8. Buxarlanma metodunun təsiri
Molekulları və atomları buxarlamaq üçün müxtəlif buxarlanma üsulları ilə təmin edilən ilkin kinetik enerji çox fərqlidir, nəticədə filmin strukturunda böyük fərq yaranır ki, bu da sınma indeksi, səpilmə və yapışma fərqi kimi özünü göstərir.
9. Buxarın düşməsinin təsiri
Buxar düşmə bucağı, buxar molekulyar şüalanma istiqaməti ilə örtülmüş substratın normal səthi arasındakı bucağa aiddir, bu, filmin böyümə xüsusiyyətlərinə və yığılma sıxlığına təsir göstərir və filmin sınma indeksinə və səpilmə xüsusiyyətlərinə böyük təsir göstərir. Yüksək keyfiyyətli filmlər əldə etmək üçün film materialının buxar molekullarının insan emissiyasının bucağına nəzarət etmək lazımdır ki, bu da ümumiyyətlə 30 ° ilə məhdudlaşdırılmalıdır.
10. Çörəkçilik müalicəsinin effektləri
Atmosferdəki filmin istilik müalicəsi, ətrafdakı qaz molekullarının və film molekullarının stresin sərbəst buraxılmasına və termal miqrasiyasına kömək edir və film rekombinasiyasının strukturunu yarada bilər, buna görə də filmin qırılma indeksinə, gərginliyinə və sərtliyinə böyük təsir göstərir.
Göndərmə vaxtı: 29 mart 2024-cü il