CVD texnologiyası kimyəvi reaksiyaya əsaslanır. Reaktivlərin qaz halında və məhsullardan birinin bərk vəziyyətdə olduğu reaksiya adətən CVD reaksiyası adlanır, buna görə də onun kimyəvi reaksiya sistemi aşağıdakı üç şərti yerinə yetirməlidir.
(1) Çöküntü temperaturunda reaktivlər kifayət qədər yüksək buxar təzyiqinə malik olmalıdırlar. Otaq temperaturunda reaktivlərin hamısı qaz halındadırsa, çökmə qurğusu nisbətən sadədir, əgər reaktivlər otaq temperaturunda uçucudursa, çox kiçikdirsə, onu uçucu hala gətirmək üçün qızdırmaq lazımdır və bəzən onu reaksiya kamerasına gətirmək üçün daşıyıcı qazdan istifadə etmək lazımdır.
(2) Reaksiya məhsullarından bərk vəziyyətdə olan istənilən çöküntü istisna olmaqla, bütün maddələr qaz halında olmalıdır.
(3) Yatırılan filmin buxar təzyiqi kifayət qədər aşağı olmalıdır ki, çökmə reaksiyası zamanı qoyulmuş film müəyyən bir çökmə temperaturuna malik olan substrata möhkəm yapışsın. Çöküntü temperaturunda substrat materialının buxar təzyiqi də kifayət qədər aşağı olmalıdır.
Çöküntü reaktivləri aşağıdakı üç əsas vəziyyətə bölünür.
(1) Qaz halı. Otaq temperaturunda qaz halında olan mənbə materiallar, məsələn, metan, karbon dioksid, ammonyak, xlor və s.
(2) Maye. Otaq temperaturunda və ya bir qədər yüksək temperaturda bəzi reaksiya maddələri, TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3 və s. kimi yüksək buxar təzyiqi var, qazı (H2, N2, Ar kimi) mayenin səthindən və ya qabarcıq içərisindəki mayenin axması və sonra maddənin doymuş buxarlarını studiyaya daşımaq üçün istifadə edilə bilər.
(3) Bərk vəziyyət. Müvafiq qaz və ya maye mənbəyi olmadıqda, yalnız bərk halda olan xammaldan istifadə etmək olar. TaCl5, Nbcl5, ZrCl4 və s. kimi yüzlərlə dərəcədə olan bəzi elementlər və ya onların birləşmələri kifayət qədər buxar təzyiqinə malikdirlər.
müəyyən qaz və mənbə material qaz-bərk və ya qaz-maye reaksiya vasitəsilə daha ümumi vəziyyət növü, studiya çatdırılması müvafiq qaz komponentlərinin formalaşması. Məsələn, HCl qazı və metal Ga GaCl şəklində studiyaya daşınan qaz tərkibli GaCl meydana gətirmək üçün reaksiya verir.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 16 noyabr 2023-cü il