أجهزة الترسيب بالرش، والمعروفة أيضًا بأنظمة الرش، هي معدات متخصصة للغاية تُستخدم في عملية ترسيب الأغشية الرقيقة. تعمل هذه الأجهزة على مبدأ الرش، الذي يتضمن قذف المادة المستهدفة بأيونات أو ذرات عالية الطاقة. تُقذف هذه العملية تيارًا من الذرات من المادة المستهدفة، والتي تُرسب بدورها على ركيزة لتكوين غشاء رقيق.
شهد استخدام آلات الترسيب بالرش توسعًا كبيرًا بفضل قدرتها على إنتاج أغشية عالية النقاء، ذات تجانس ممتاز، وسمك متحكم فيه. لهذه الأغشية تطبيقات واسعة في الإلكترونيات الدقيقة، والبصريات، والخلايا الشمسية، ووسائط التخزين المغناطيسية، وغيرها من المجالات.
أدت التطورات الحديثة في مجال آلات الترسيب بالرش إلى تحسين وظائفها وخصائصها. ومن أبرز التطورات دمج تقنية الرش المغناطيسي، التي تتيح معدلات ترسيب أعلى وجودة أفضل للأغشية. يتيح هذا الابتكار ترسيب مجموعة متنوعة من المواد، بما في ذلك المعادن وأكاسيد المعادن وأشباه الموصلات.
بالإضافة إلى ذلك، أصبحت آلات الترسيب بالرش مُجهزة بأنظمة تحكم متطورة تضمن التحكم الدقيق في معلمات الترسيب، مثل ضغط الغاز، وكثافة الطاقة، وتركيبة الهدف، ودرجة حرارة الركيزة. تُحسّن هذه التطورات أداء الأغشية، وتُتيح إنتاج أغشية بخصائص مُصممة خصيصًا لتطبيقات مُحددة.
علاوة على ذلك، يُفيد التطور المستمر في مجال تقنية النانو بشكل كبير من أجهزة الترسيب بالرش. يستخدم الباحثون هذه الأجهزة لإنشاء هياكل نانوية وطلاءات نانوية بدقة عالية للغاية. تتميز أجهزة الترسيب بالرش بقدرتها على ترسيب أغشية رقيقة على أشكال معقدة ومساحات واسعة، مما يجعلها مثالية لمجموعة متنوعة من التطبيقات النانوية.
أُفيد مؤخرًا أن فريقًا من العلماء من مؤسسة بحثية مرموقة قد نجح في تطوير آلة جديدة للترسيب بالرش، قادرة على ترسيب الأغشية الرقيقة بدقة غير مسبوقة. تدمج هذه الآلة المتطورة خوارزميات تحكم متطورة وتصميمًا مبتكرًا للمغنطرون، لتحقيق تجانس فائق للأغشية وتحكم في سمكها. ويتوقع فريق البحث أن تُحدث آلته ثورة في عملية تصنيع الجيل القادم من الأجهزة الإلكترونية وأنظمة تخزين الطاقة.
يُعدّ تطوير مواد جديدة ذات وظائف مُحسّنة سعيًا دؤوبًا للمجتمع العلمي. وقد أصبحت آلات الترسيب بالرش أداةً لا غنى عنها في هذا الاستكشاف، إذ تُسهّل اكتشاف وتصنيع مواد جديدة ذات خصائص فريدة. ويستخدم الباحثون هذه الآلات لدراسة آليات نمو الأغشية، ودراسة المواد ذات الخصائص المُصمّمة خصيصًا، واكتشاف مواد جديدة قد تُشكّل مستقبل التكنولوجيا.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: 30 أكتوبر 2023