3. تأثير درجة حرارة الركيزة
تُعد درجة حرارة الركيزة من أهم شروط نمو الغشاء، فهي تُوفر طاقة إضافية لذرات أو جزيئات الغشاء، وتؤثر بشكل رئيسي على بنية الغشاء، ومعامل التكتل، ومعامل التمدد، وكثافة التجمع. ويختلف الانعكاس العياني في الغشاء، ومعامل الانكسار، والتشتت، والإجهاد، والالتصاق، والصلابة، وعدم الذوبان اختلافًا كبيرًا باختلاف درجة حرارة الركيزة.
(1) الركيزة الباردة: تستخدم عمومًا لتبخير الفيلم المعدني.
(2) مزايا درجات الحرارة العالية:
① تتم إزالة جزيئات الغاز المتبقية الممتصة على سطح الركيزة لزيادة قوة الارتباط بين الركيزة والجزيئات المترسبة؛
(2) تعزيز تحويل الامتصاص الفيزيائي إلى الامتصاص الكيميائي لطبقة الفيلم، وتعزيز التفاعل بين الجزيئات، وجعل الفيلم محكمًا، وزيادة الالتصاق وتحسين القوة الميكانيكية؛
③ تقليل الفرق بين درجة حرارة إعادة التبلور الجزيئي للبخار ودرجة حرارة الركيزة، وتحسين كثافة طبقة الفيلم، وزيادة صلابة طبقة الفيلم للقضاء على الإجهاد الداخلي.
(3) عيب درجة الحرارة المرتفعة جدًا: يتغير هيكل طبقة الفيلم أو تتحلل مادة الفيلم.
4. تأثيرات القصف الأيوني
القصف بعد الطلاء: يُحسّن كثافة تجميع الغشاء، ويُحسّن التفاعل الكيميائي، ويزيد معامل انكسار غشاء الأكسيد، ويزيد من قوته ومقاومته الميكانيكية وقدرته على الالتصاق. كما يزيد من عتبة الضرر الناتج عن الضوء.
5. تأثير مادة الركيزة
(1) سيؤدي معامل التمدد المختلف لمادة الركيزة إلى إجهاد حراري مختلف للفيلم؛
(2) تؤثر التقارب الكيميائي المختلفة على التصاق وصلابة الفيلم؛
(3) خشونة وعيوب الركيزة هي المصادر الرئيسية لتشتت الفيلم الرقيق.
6. تأثير تنظيف الركيزة
ستؤدي بقايا الأوساخ والمنظفات على سطح الركيزة إلى: (1) ضعف التصاق الفيلم بالركيزة؛ ② زيادة امتصاص التشتت، والقدرة المضادة لليزر ضعيفة؛ ③ ضعف أداء نقل الضوء.
إن التركيب الكيميائي (النقاء وأنواع الشوائب)، والحالة الفيزيائية (مسحوق أو كتلة)، والمعالجة المسبقة (التلبيد الفراغي أو التشكيل) لمادة الفيلم سوف تؤثر على بنية الفيلم وأدائه.
8. تأثير طريقة التبخر
إن الطاقة الحركية الأولية التي توفرها طرق التبخر المختلفة لتبخير الجزيئات والذرات مختلفة جدًا، مما يؤدي إلى اختلاف كبير في بنية الفيلم، والذي يتجلى في الاختلاف في معامل الانكسار والتشتت والالتصاق.
9. تأثير زاوية سقوط البخار
زاوية سقوط البخار هي الزاوية بين اتجاه الإشعاع الجزيئي للبخار والعمود العمودي على سطح الطبقة المغلفة، مما يؤثر على خصائص نمو الفيلم وكثافة تجمعه، ويؤثر بشكل كبير على معامل الانكسار وخصائص التشتت. للحصول على أفلام عالية الجودة، من الضروري التحكم في زاوية انبعاث جزيئات بخار مادة الفيلم، والتي يجب أن تقتصر عمومًا على 30 درجة.
10. تأثيرات معالجة الخبز
إن المعالجة الحرارية للفيلم في الغلاف الجوي تساعد على إطلاق الإجهاد والهجرة الحرارية لجزيئات الغاز المحيطة وجزيئات الفيلم، ويمكن أن تجعل بنية الفيلم تعاد تركيبها، لذلك لها تأثير كبير على معامل الانكسار والإجهاد وصلابة الفيلم.
وقت النشر: ٢٩ مارس ٢٠٢٤