የፓምፕ ሲስተም የቫኩም ሽፋን ማሽን መስፈርቶች

በፓምፕ ሲስተም ላይ የቫኩም ሽፋን ማሽን የሚከተሉትን መሰረታዊ መስፈርቶች አሉት ።

(1) የሽፋን ቫክዩም ሲስተም በቂ መጠን ያለው የፓምፕ ፍጥነት ሊኖረው ይገባል, ይህም ከንጥረኛው እና ከተለቀቁት ቁሳቁሶች የሚለቀቁትን ጋዞች እና በሽፋኑ ሂደት ውስጥ በቫኩም ክፍል ውስጥ ያሉትን ንጥረ ነገሮች በፍጥነት ማውጣት ብቻ ሳይሆን ከትፋቱ እና ion ሽፋን ሂደት የሚለቀቁትን ጋዞች በፍጥነት ማውጣት እንዲሁም የሽፋኑ እና የአየኑ ሂደት ጋዝ መፍሰስ አለበት።

በመርጨት እና በ ion ሽፋን ሂደት ውስጥ ያለው የጋዝ መፍሰስ በፍጥነት ሊወጣ ይችላል። የሽፋን ማሽኑን ምርታማነት ለማሻሻል በፍጥነት መስራት መቻል አለበት.

(2) የሽፋኑ ማሽን ፓምፕ ሲስተም የመጨረሻው ክፍተት በተለያዩ ፊልሞች መስፈርቶች መሰረት የተለየ መሆን አለበት. ሠንጠረዥ 7-9 በተለያዩ ፊልሞች ሽፋን ሂደት የሚፈለገው የቫኩም ዲግሪ ነው.

(3) በነዳጅ ማከፋፈያ ፓምፕ ውስጥ ዋናው የፓምፕ ፓምፕ ሲስተም የፓምፑን የነዳጅ መመለሻ መጠን በተቻለ መጠን ትንሽ ነው, ምክንያቱም የመመለሻ ዘይት ትነት የሥራውን ገጽታ ስለሚበክል እና የፊልሙ ጥራት እንዲቀንስ ስለሚያደርግ. በፊልም ጥራት መስፈርቶች በተለይም በሸፍጥ ሂደት ውስጥ ከፍተኛ ናቸው, ከዘይት ነፃ የሆነ የፓምፕ አሠራር መጠቀም ጥሩ ነው. ዘይት ስርጭት ፓምፕ ፓምፕ ሥርዓት በመጠቀም ጊዜ, ፓምፕ ማስገቢያ adsorption ወጥመድ ውስጥ ማዘጋጀት አለበት, ቀዝቃዛ ወጥመድ እና ሌሎች ክፍሎች, እና ቫክዩም ሥርዓት ከፍተኛውን ፓምፕ ፍጥነት ለመጠበቅ መሆኑን ክፍሎች conductivity ትኩረት መስጠት አለበት.

(4) የቫኩም ሽፋን ክፍል እና የፓምፕ አሠራሩ የመፍሰሻ መጠን ትንሽ መሆን አለበት, ማለትም, ምንም እንኳን ጥቃቅን የጋዝ መፍሰስ ቢሆንም, የፊልሙን ጥራት ይነካል. ስለዚህ የስርዓቱን የማተሚያ አፈፃፀም ለማረጋገጥ የስርዓቱ አጠቃላይ የፍሳሽ መጠን በተፈቀደው ክልል ውስጥ የተገደበ መሆን አለበት.

(5) የቫኩም ሲስተም አሠራር ፣ አጠቃቀም እና ጥገና ምቹ ፣ የተረጋጋ እና አስተማማኝ አፈፃፀም መሆን አለበት።

- ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በየቫኩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ