የሲቪዲ ቴክኖሎጂ የስራ መርሆዎች

የሲቪዲ ቴክኖሎጂ በኬሚካላዊ ምላሽ ላይ የተመሰረተ ነው. ምላሽ ሰጪዎቹ በጋዝ ሁኔታ ውስጥ ያሉበት እና አንደኛው በጠንካራ ሁኔታ ውስጥ ያለው ምላሽ ብዙውን ጊዜ የሲቪዲ ምላሽ ይባላል ፣ ስለሆነም የኬሚካላዊ ምላሽ ስርዓቱ የሚከተሉትን ሶስት ሁኔታዎች ማሟላት አለበት።

(1) በተቀማጭ የሙቀት መጠን, ተቆጣጣሪዎቹ በቂ የሆነ ከፍተኛ የእንፋሎት ግፊት ሊኖራቸው ይገባል. የ reactants ሁሉ ክፍል ሙቀት ላይ gaseous ከሆነ, ማስቀመጫ መሣሪያ በአንጻራዊነት ቀላል ነው, reactants ክፍል ሙቀት ላይ የሚተኑ ናቸው በጣም ትንሽ ከሆነ, ይህ እንዲተነፍሱ ለማድረግ ማሞቅ ያስፈልገዋል, እና አንዳንድ ጊዜ ወደ ምላሽ ክፍል ለማምጣት ሞደም ጋዝ መጠቀም ያስፈልገዋል.
(2) ከምላሽ ምርቶች ውስጥ, ሁሉም ንጥረ ነገሮች በጠንካራ ሁኔታ ውስጥ ከሚፈለገው ተቀማጭ ካልሆነ በስተቀር በጋዝ ሁኔታ ውስጥ መሆን አለባቸው.
(3) የተከማቸ ፊልም የእንፋሎት ግፊት ዝቅተኛ መሆን አለበት ይህም የተከማቸ ፊልም በተቀማጭ ምላሽ ወቅት የተወሰነ የሙቀት መጠን ካለው ንጣፍ ጋር በጥብቅ መያዙን ለማረጋገጥ ነው። በተቀማጭ የሙቀት መጠን ላይ ያለው የንጥረ ነገሮች የእንፋሎት ግፊት እንዲሁ ዝቅተኛ መሆን አለበት።
የማስቀመጫ ምላሽ ሰጪዎች በሚከተሉት ሦስት ዋና ዋና ግዛቶች የተከፋፈሉ ናቸው።
(1) የጋዝ ሁኔታ. በክፍል ሙቀት ውስጥ በጋዝ የተሞሉ እንደ ሚቴን፣ካርቦን ዳይኦክሳይድ፣አሞኒያ፣ክሎሪን፣ወዘተ የመሳሰሉት ለኬሚካል ትነት መትከያ ምቹ የሆኑ እና የፍሰት መጠኑ በቀላሉ የሚስተካከልበት የምንጭ ቁሳቁሶች።
(2) ፈሳሽ. አንዳንድ ምላሽ ንጥረ ነገሮች በክፍል ሙቀት ወይም በትንሹ ከፍ ባለ የሙቀት መጠን ፣ ከፍተኛ የእንፋሎት ግፊት አለ ፣ ለምሳሌ TiCI4 ፣ SiCl4 ፣ CH3SiCl3 ፣ ወዘተ. ጋዝን (እንደ H2 ፣ N2 ፣ Ar) በፈሳሹ ወይም በአረፋው ውስጥ ባለው ፈሳሽ ወለል በኩል ይፈስሳሉ እና ከዚያም የተሟሟትን የእቃውን እንፋሎት ወደ ስቱዲዮ ይሸከማሉ።
(3) ጠንካራ ሁኔታ። ተስማሚ የጋዝ ወይም ፈሳሽ ምንጭ ከሌለ, ጠንካራ-ግዛት መኖዎችን ብቻ መጠቀም ይቻላል. አንዳንድ ንጥረ ነገሮች ወይም ውህዶቻቸው በመቶዎች በሚቆጠሩ ዲግሪዎች ውስጥ ከፍተኛ የሆነ የእንፋሎት ግፊት አላቸው, ለምሳሌ TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, ወዘተ. በፊልም ንብርብር ውስጥ የተቀመጠውን ተሸካሚ ጋዝ በመጠቀም ወደ ስቱዲዮ ሊወሰዱ ይችላሉ.
ይበልጥ የተለመደው ሁኔታ በተወሰነ ጋዝ እና በምንጭ ቁስ ጋዝ-ጠንካራ ወይም ጋዝ-ፈሳሽ ምላሽ, ወደ ስቱዲዮ ማቅረቢያ ተገቢ የጋዝ አካላት መፈጠር. ለምሳሌ፣ HCl ጋዝ እና ብረታ ጋ በጋሲኤል መልክ ወደ ስቱዲዮ የሚጓጓዘውን የጋዝ መለዋወጫ GaCl ለመመስረት ምላሽ ይሰጣሉ።

- ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በየቫኩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ